Di bahagian litografi, kawasan yang mempunyai suhu 0.5°C boleh merosakkan kualiti permukaan wafer tersebut. Kaedah pemanasan jenis “soft bake” dan “hard bake” tidak dapat mengatasi masalah ketidakteraturan suhu ini—tidak pernah berjaya, dan tidak akan berjaya juga. Kami telah mencipta alat pengukur tegangan permukaan wafer untuk mengurangkan variasi suhu tersebut. Alat ini dapat memastikan suhu kekal stabil pada tahap ±0.1°C di seluruh permukaan wafer.
Apa yang penting dalam proses ini
Alat pemanas ini direka khusus untuk digunakan dalam bilik bersih, dengan jumlah zarah yang sangat sedikit. Suhu dikawal secara masa nyata, jadi nilai suhu yang ditetapkan akan kekal sama sepanjang proses pemanasan. Repeatabiliti yang tinggi disebabkan oleh mekanisme kawalan yang canggih, sehingga variasi antara batch yang berbeza dapat dikurangkan. Ini memastikan proses pengeluaran menjadi lebih konsisten, dengan aliran bahan kimia yang dapat diramalkan, serta tenaga permukaan yang stabil—semua ini merupakan faktor penting dalam proses litografi.
Mengapa alat ini sesuai untuk digunakan dalam pengeluaran
Dalam persekitaran Kelas 1–100, alat pemanas ini dapat berfungsi dengan baik tanpa menambah jumlah zarah di udara. Tiada pembentukan zarah sama sekali, yang seterusnya melindungi kualiti produk dan mengurangkan sisa bahan yang terhasil. Medan haba yang seragam membolehkan masa pemanasan dipendekkan tanpa menjejaskan prestasi bahan fotorezist. Ini seterusnya meningkatkan kelajuan pengeluaran dan mengurangkan penggunaan tenaga per wafer. Alat ini direka untuk beroperasi 24/7, jadi masalah seperti perubahan suhu secara tiba-tiba dapat dielakkan.
Apa yang perlu diperhatikan semasa pemasangan
Pemasangan alat ini memerlukan penyesuaian yang tepat agar ia dapat berfungsi dengan baik bersama wafer chuck. Selain itu, bekalan gas yang bersih dan kering juga diperlukan untuk melindungi permukaan alat pemanas tersebut. Alat ini boleh digunakan dengan antaramuka standard, tetapi jika perlu dilakukan pengubahsuaian, sedikit penyesuaian mekanikal diperlukan. Jika sistem pengudaraan dan sistem penyejukan sesuai dengan beban haba yang dihasilkan, maka jangka hayat alat ini akan bertambah lama. Dengan spesifikasi yang betul, proses pengeluaran akan berjalan lancar, dari hari ke hari.