Mengekalkan Kebersihan Wafer Semasa Proses Pengeringan
Ketika mengeringkan wafer sensor MEMS, haba hanyalah sebahagian daripada faktor yang perlu diambil kira. Masalah sebenar adalah kehadiran zarah-zarah kecil yang boleh merosakkan wafer tersebut. Di bilik bersih kelas 100, sekadar serpihan kecil dari bahan penebat atau zarah oksida logam pun sudah cukup untuk merosakkan keseluruhan batch wafer tersebut. Ini sangat menyusahkan dan memerlukan kos yang tinggi.
Itulah sebabnya kami menggunakan lampu inframerah berbahan kuarsa berkualiti tinggi.
Masalah dengan kaedah pemanasan “standard”
Kebanyakan unsur pemanas mempunyai kecenderungan untuk mengeluarkan gas atau zarah-zarah kecil ketika panas atau sejuk. Kami tidak menggunakan kaedah ini. Dengan menggunakan kuarsa berkualiti tinggi, kita dapat menggunakan bahan yang tahan terhadap perubahan suhu ekstrem tanpa retak atau kerosakan.
Kami juga menghilangkan bahan pengikat organik serta lapisan yang murah. Mengapa? Kerana bahan-bahan ini boleh menguap dan menempel pada wafer. Sebaliknya, kita mendapat sumber haba yang efektif tanpa meninggalkan kotoran.
Hentikan pergerakan debu
Kaedah pemanasan konvektif bergantung pada pergerakan udara. Pergerakan udara bermakna pergerakan debu. Kami menggunakan sinar inframerah gelombang pendek (SWIR) sebagai gantinya. SWIR menghantar tenaga secara langsung ke titisan air pada wafer. Ia sangat cepat. Dan kerana tiada udara berkelajuan tinggi yang digunakan, debu tidak akan terbang di dalam bilik bersih tersebut.
Butiran penting berkaitan penggunaan lampu tersebut
Memasang lampu-lampu ini ke dalam stesen pengeringan bukanlah sesuatu yang mudah. Anda perlu memastikan voltan yang digunakan sesuai. Lampu kuarsa ini menghasilkan tenaga yang tinggi, jadi bekalan kuasa perlu diperiksa dengan teliti. Anda juga perlu memastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Jika penyejukan tidak berfungsi dengan baik, haba akan merosakkan komponen-komponen yang digunakan. Lebih baik pastikan aliran udara berjalan lancar dari awal.
Kami memastikan saiz lampu ini sesuai agar ia boleh dimasukkan ke dalam ruang vakum atau saluran pengeringan dengan mudah. Dengan cara ini, proses pengeringan akan berjalan lebih cepat, dan hasilnya akan lebih baik. Ingatlah untuk memastikan kabel yang digunakan mampu menahan beban haba yang tinggi. Tiada siapa yang ingin kabel tersebut rosak akibat haba yang berlebihan.