ウェーハをきれいな状態で乾燥させるために
MEMSセンサー用のウェーハを乾燥させる際、熱だけでは不十分です。実際の問題は、微粒子が発生することです。クラス100の清浄室では、古い断熱材の破片や金属酸化物の微粒さえも、全体の製品を台無しにしてしまいます。これは非常に厄介で、コストもかかります。
だからこそ、私たちは高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用しているのです。
「標準的な」加熱方法の問題点
ほとんどの加熱要素は、加熱や冷却の過程でガスを放出したり、素材が剥がれ落ちたりするという問題があります。しかし、私たちの製品にはそのような問題はありません。高純度の石英を使用することで、極端な温度変化にも耐えられる素材を得ることができます。また、有機系の結合剤や安価なコーティングも除去されています。なぜかというと、それらは揮発してウェーハ上に付着してしまうからです。代わりに、汚れを残さずに効率的に熱を供給することができます。
ほこりの移動を防ぐ
対流加熱の場合、空気の流れに頼っているため、ほこりも一緒に動いてしまいます。私たちは短波長赤外線を使用しています。これにより、エネルギーが直接ウェーハ上の水滴に伝わります。非常に速く、効率的です。また、高速の空気をウェーハに当てないので、清浄室内にほこりが舞い上がることもありません。
設置時の細かい注意点
このようなランプを乾燥装置に取り付けるのは、単に「プラグを差し込むだけ」というわけにはいきません。適切な電力供給が必要です。高ワット数の石英管を使用するため、電源装置には大きな負荷がかかります。また、冷却機能もしっかり確認する必要があります。ケースの通気性が悪いと、周囲の熱がマウントブラケットを変形させてしまいます。一度変形してしまうと修正が大変なので、最初から適切な空気の流れを確保しましょう。
私たちは、これらのランプが真空チャンバーや乾燥トンネルに簡単に収まるように、サイズを工夫しています。これにより、直接熱が伝わり、乾燥時間が短縮され、品質も向上します。ただし、配線の耐熱性にも注意が必要です。端子が焼き切れるのは避けたいですよね。