高純度クォーツ式赤外線ランプ：クラス100の清浄環境に必要なクリーンな熱源
もし、クラス100の清浄室でウェハーの硬化処理を行っているのであれば、汚染制御がいかに重要かご存知でしょう。妥協の余地はまったくありません。
当社の高純度クォーツ式赤外線ランプは、そうした厳しい要求に応えるために開発されました。必要な場所に強力で集中的な熱を供給しつつ、粒子や有害物質を放出することはありません。
実際の課題は、プロセスの清潔性を損なうことなく、十分な熱出力を得る方法です。これこそが、このランプが解決する問題です。
電力、電圧、熱量——最適に組み合わせられている
このランプは400V、2500Wで動作し、狭いスペースで大きな熱量を生み出します。
400Vを選んだのは、電流を低く保つことができ、配線が簡単になり、システム内の混乱も減るからです。
チューブの長さは300mmです。これは意図的な設計で、標準的なウェハー処理エリアにぴったりと収まり、過剰なサイズの部品を使わずに均一な加熱が可能です。
しかし、2500Wという高出力のため、十分な冷却が必要です。温度上昇に対応できるよう、適切な熱管理が求められます。
なぜクォーツを使うのか？そしてR7sコネクタを使う理由
高純度クォーツガラスを使用する理由は、熱衝撃に強く、化学的に安定しているからです。つまり、清浄室の基準を破るような物質を放出することはありません。
内部にある短波長赤外線発振器は、素早く加熱され、迅速に反応します。これは、生産が忙しい時に必要な特性です。
R7sコネクタは、シンプルな2ピン式のセラミックインターフェースです。配線が簡単で、高い耐熱性を持ち、安定した取り付けが可能です。プラスチック製のケースもなく、故障して粒子を放出するような複雑なシールもありません。
ストレスなくウェハーを硬化させる
ウェハーを硬化させる際には、迅速に熱が届き、目標部分に直接当たり、かつ汚染が起きないことが重要です。
このランプは急速に加熱されるため、所定の時間を正確に守り、一貫した硬化処理が可能です。
高純度の材料を使用しているため、加熱要素自体が汚染源になることはありません。そのため、歩留まりが保たれます。
R7sインターフェースにより、メンテナンスも簡単になります。既存の装置と交換可能で、交換時のダウンタイムが減ります。
これは単なる数値の追求ではありません。24時間365日の生産にも耐えられ、依然として清浄室の基準を満たす加熱システムが求められます。
最も重要な時、つまり硬化処理の瞬間に、信頼性の高い制御と安定性が得られます。