ファブを清潔に保ち、歩留まりを高める
クラス100のクリーンルームを運用しているなら、粒子が発生するという悩みはよくご存知でしょう。安価なヒーターから出るわずかな破片だけで、ウェーハがダメになってしまいます。これは非常に厄介で、費用もかかり、歩留まりも低下してしまいます。 そのため、私たちは通常のヒーターを使うのをやめ、IRランプには高純度の融合石英を使用するようにしました。 なぜ石英か？ 金属製のヒーターは時間が経つと剥がれたり酸化したりします。しかし、合成された融合石英は違います。環境と反応せず、金属イオンが乾燥室に混入することもありません。 また、熱に対しても優れています。温度が急変してもほとんど膨張や収縮しないため、急速な温度変化によってチューブが割れる心配もありません。常に安定した状態を保ちます。 熱を適切な場所に送る これらのランプは短波長のIR放射を利用しています。良い点は、エネルギーが直接基板に当たるということです。部屋全体の空気を温める必要がないので、迅速に加熱できます。本当に速いです。 ただし、電力の面では注意が必要です。これらのランプは多くのワット数に耐えられますが、電源もそれに合わせて選ぶ必要があります。過剰な電力を供給すると、フィラメントが壊れてしまいます。安全のため、電圧調整器には約10％の余裕を持たせています。そうすれば、急激な電力の変動による被害を避けることができます。 設置時のヒント 私たちは標準的なコネクタを使用しているので、メンテナンス時に交換するのも簡単です。ランプを交換するだけで、機械の半分を再構築する必要はありません。 ただし、石英は壊れやすいので注意が必要です。 取り付ける際は、ブラケットがチューブを押しつぶさないようにしてください。過度な力が加わると、最初に加熱された瞬間にチューブが割れてしまいます。その音を聞きたくないでしょう。 最後に、手にも気をつけてください。高純度の石英は普通のガラスよりも高価で、かつ繊細です。チューブに指紋が付くだけでも、熱の集中が起こり、早期に破損する原因になります。 配線する前に、IPAで軽く拭いておけば問題ありません。