製造現場において、ソフトベイク時の温度変動が0.5℃でも、それはすぐには分からない。しかし、その影響で余裕がなくなり、結果として大量のワークが廃棄されてしまう。リソグラフィーにおいては、推測の余地はなく、計画外の停止も許されない。持続可能な製造プロセスとは、ウェーハあたりの消費電力や、立方フィートあたりの粒子数、そして24時間365日安定して稼働することを意味する。
技術的に重要な点 私たちは、ベイクプレート上でのウェーハ全体の温度が±0.1℃以内になるように熱制御システムを設計しました。そうすることで、ソフトベイクやハードベイクの工程が繰り返し行われます。短波赤外線加熱によって、エネルギーを迅速かつ効率的に供給し、温度管理を徹底します。クリーンルームのクラス1～100に適合するように設計されており、密閉されたチャンバーや低ガス放出性の材料を使用し、温度変化時に粒子が発生しないようにしています。
信頼性の高い稼働が期待できます。MTBFは数年単位であり、最小限の性能低下で5,000時間以上の使用寿命が確保されています。
なぜうまく機能するのか フォトレジスト処理やベイク工程を行う際、温度の安定性がCD制御や歩留まりを決定づけます。精密な温度制御により、工程時間が短縮され、廃棄物が減少し、1回の処理あたりのエネルギー消費量も削減されます。
信頼性の高さにより、生産ラインが止まることがなく、緊急修理も不要で、在庫として保管されるスペア部品の量も減少します。その結果、ウェーハあたりのコストが低下し、COOも安定し、ESG報告にも対応できるようになります。
知っておくべきこと これらのシステムは既存のトラックやリソグラフィーセルに組み込むことができますが、熱プロファイルは基板の構造やフォトレジストの特性に合わせて調整する必要があります。昇温速度や保持時間を正確に把握するために、事前にテストを行うことが重要です。
電源の接続は簡単ですが、高速な温度変化時に不安定にならないように、専用の回路が必要です。