もし、クラス100（ISO 5）の洁净室を運営しているのであれば、粒子による汚染という問題がどれほど深刻か、ご存知でしょう。安価なヒーターから出る微小な破片だけで、ウェーハが壊れてしまいます。それは本当に大惨事です。
だからこそ、私たちは赤外線ランプには高純度の合成石英を使用しているのです。
ほこりとの戦い 融成石英の特徴は、極端な温度変化にも耐えられることです。金属製のヒーターは時間が経つにつれて剥がれたり腐食したりしますが、この石英管はそういうことはありません。
赤外線が直接対象物に当たるため、周囲の空気が温まることはありません。これにより、空気の流れが安定し、洁净室内でほこりが飛び散ることもありません。
適切なハードウェアの選定 私たちは、耐久性の高いランプを作っています。大規模な洁净室を改造する際には、ピーク温度に達した時にランプが劣化しないことが重要です。そのため、直径や長さの公差を非常に狭く設定し、既存の装置に簡単に取り付けられるようにしています。
また、シール部にも注意が必要です。ハロゲンガスが漏れると、ランプだけでなく、生産ライン全体が壊れてしまいます。そのため、すべてのシール部を真空試験して、確実に密封されていることを確認しています。
注意すべき点 高純度の石英はかなりの熱を発生させます。パワーサプライにかなりの負担がかかるため、正確なPIDコントローラーが必要です。電圧が不安定になると、フィラメントが壊れてしまいます。コントローラーが初期の電流急上昇に対応できるかどうかを確認しましょう。そうでないと、頻繁にランプを交換することになります。
手間を省くために、標準的なコネクタを使用しています。これにより、配線が簡単になり、洁净室が停止する時間が少なくなります。必要な熱が得られ、歩留まりも安定します。