בקו ה-300 ממ, אנו כבר נאלצים להתמודד עם בעיות תרמיות חמורות. שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת האפייה יכול לגרום לשינויים במאפייני הפוטורזיסט; בנוסף, אי-אחידות בטמפרטורת האפייה גורמת להיווצרות של שכבות לא רצויות בקצוות השבב. שינויים כאלה לא רק מאטים את התהליך, אלא גם גורמים לבזבוז חומרים. אנו משתמשים בנורות חלופיות של ASML כדי להפחית את השונות בתהליך.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו מתאימים את ההתנהגות התרמית של מערכת ASML לפלט של גלים קצרים ובינוניים, כך שהטמפרטורות הנדרשות לאפיית הפוטורזיסט יהיו מדויקות. על פני שטח האפייה, האחידות נשמרת בטווח של ±0.1°C, והחזריות נשמרת בטווח של ±0.2°C ממחזור למחזור. נורות אלה פועלות בחדרי עבודה נקיים מסוג Class 1–100, ללא הוספת חלקיקים, וזה מאושר באופן מיידי. הן מיועדות לפעולה 24/7 – למשך 5,000 שעות ויותר, תוך שמירה על רמת פלט בטווח של 5%. בנוסף, מכיוון שהמתחים והחיבורים של הנורות תואמים את אלו של מכשירי ASML, ניתן להחליף אותן מבלי צורך בבדיקות נוספות.
למה זה עובד בפועל? הנורות החלופיות מאפשרות שמירה על טמפרטורות קבועות במהלך תהליך האפייה, כך שניתן לשלוט בממדים החשובים של השבב בצורה מדויקת. אחידות תרמית טובה פירושה פחות עבודה נוספת, פחות בזבוז חומרים, וחזרה מהירה למצב יציב לאחר החלפת הנורה. בנוסף, ניתן לחסוך באנרגיה, מכיוון שהנורה מגיעה לטמפרטורה הרצויה במהירות, ושומרת עליה ללא סטיות – כך שניתן לחסוך בעלויות האנרגיה מבלי לשנות את ההגדרות של המכשיר.
כמה הערות מעשיות: ההתקנה פשוטה, אך יש לטפל בנורה בזהירות, ולשמור עליה נקייה. טביעת אצבע על המעטפת של הנורה עלולה לגרום להיווצרות של נקודות חמות. יש לבדוק את התוכנה של המכשיר לפני השימוש – חלק מהבקרים הישנים דורשים כיוון מחדש כדי להתאים את עצמם לנורה החדשה. לאחר שהכל מותאם, יש לבצע בדיקות קצרות כדי לוודא שהטמפרטורות והמינונים נכונים, ולאחר מכן לשלב את הנורה החלופית בלוח הזמנים של התחזוקה.