בחדר הייצור, שינוי של 0.1°C בטמפרטורת האפייה גורם לשינוי במבנה הפוטורזיסט בכמה ננומטרים – ושינוי זה משפיע על תוצאות הייצור. בתהליך הליתוגרפיה, השליטה בטמפרטורה אינה אופציונלית; היא התנאי ההכרחי לתהליך. עיצבנו את הנורות שלנו כך שיעמדו בתנאים אלו, ויספקו חימום אחיד בדיוק הנדרש.
אנרגיית האינפרא-אדום בעלת הגל הקצר מגיעה מחוט הטונגסטן שנמצא בתוך קוורץ ברמת טוהר גבוהה, מה שמאפשר חימום מהיר עם שליטה מדויקת בספקטרום האנרגיה. באזור החם, האחידות של הטמפרטורה נשמרת ברמה של ±0.1°C, ונקודת הטמפרטורה משתנה בתגובה מהירה. המערכת מיועדת לשימוש בחדרי ייצור מסוג Class 1–100, כאשר החומרים שמשמשים לייצור מונעים יצירת חלקיקים ומונעים זיהום. המערכות האלו פועלות 24/7; ראינו שהן יכולות לפעול למעלה מ-5,000 שעות ללא ירידה של יותר מ-5% בביצועים.
חשוב שהטמפרטורה תהיה מדויקת – בתחנת האפייה. טמפרטורה נמוכה מדי גורמת להצטברות של חומרי המסיס בפוטורזיסט, וטמפרטורה גבוהה מדי גורמת לשינוי במבנה הפוטורזיסט. הנורות שלנו שומרות על טמפרטורה קבועה, כך שהשליטה בממדים החשובים ובזוויות השוליים נשמרת ברמה הנדרשת, מחזור אחר מחזור.
התוצאה היא ייצור אחיד, פחות פסולת ופחות צורך בעבודות תיקון. בנוסף, חוסכים אנרגיה, מכיוון שהחימום הוא אפקטיבי, ותוחלת החיים של הנורות ארוכה, מה שמקצר את זמני התקלות.
ההתקנה פשוטה, אך יש להיות זהירים. יש להתאים את הנורה לגאומטריה של המחזיר ולנקודת הטמפרטורה של מערכת השליטה, כדי למנוע אזורים חמים מדי. יש לבדוק את המתח ואת התאמת החיבורים לתנור או למערכת הציפוי, ולוודא שמסלול האוורור נקי ויבש.
יש להתייחס לקוורץ כאילו היה חדר ייצור. יש להשתמש בכפפות, לשמור על הקוורץ נקי מטביעות אצבעות, ולבדוק את תכונות האפייה באמצעות וופר מדויק לפני שמשחררים את המוצר לייצור.