חלקי חילוף לנורות הליתוגרפיה של ASML

בקו ה-300 ממ, אנו כבר נאלצים להתמודד עם בעיות תרמיות חמורות. שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת האפייה יכול לגרום לשינויים במאפייני הפוטורזיסט; בנוסף,...