בקו ה-300 ממ, אנו כבר נאלצים להתמודד עם בעיות תרמיות חמורות. שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת האפייה יכול לגרום לשינויים במאפייני הפוטורזיסט; בנוסף,...

בקו ייצור בעל אורך 300 ממ, אי אפשר להרשות לעצמו שינויים בתהליך החימום של הפוטורזיסט, או היווצרות של חלקיקים במהלך ייבוש הוואפרים. כאשר המשאבים...