Kohlenstoffemissionen in den Halbleiterfabriken durch Infrarot-Härtung verringern
Seien wir ehrlich: Halbleiterfabriken stehen unter großem Druck, die Ziele bezüglich der Kohlenstoffemissionen zu erreichen. Doch wenn man sich ansieht, wo eigentlich die Energie verschwindet, dann wird festgestellt, dass ein großer Teil der Energie bei der Härtung und Trocknung verbraucht wird.
Traditionelle Konvektionsöfen sind im Grunde genommen riesige Energieverschwender. Sie verbrauchen viel Energie, nur um die Luft aufzuheizen – eine Luft, die den Produkten überhaupt nicht zugutekommt.
Durch den Einsatz zertifizierter Infrarot-Härtungslampen ändert sich das ganz. Anstatt einen ganzen Raum aufzuheizen, wirkt das Infrarot direkt auf die Wafern. Es handelt sich dabei um eine gezielte, effiziente Methode.
Kein Warten mehr auf die Erwärmung des Ofens
Einer der Vorteile von Infrarotlampen ist, dass sie sofort einsatzbereit sind. Man muss nicht warten, bis der Ofen eine bestimmte Temperatur erreicht hat, bevor man mit der Bearbeitung der Wafern beginnen kann. Man schaltet einfach den Schalter ein – und schon kann es losgehen.
Durch das Weglassen dieses Vorheizvorgangs wird die Energieverbrauch pro Wafer erheblich reduziert. In einer Fabrik mit hohem Produktionsvolumen summieren sich diese Einsparungen schnell. Es handelt sich dabei um eine einfache Möglichkeit, die Gesamtkohlenstoffemissionen zu senken – ohne dabei die gesamte Infrastruktur verändern zu müssen.
Die technischen Details
Um die Wärme tief in die Schichten des Fotolacks oder der Klebstoffe zu bringen, verwenden wir Kurzwellen-Infrarotlicht. Da niemand Kontaminationen in einem Reinraum möchte, verwenden wir hochreine Quarzgehäuse, um Ausgasungen zu verhindern. Die Leistung der Lampen kann je nach Bedarf angepasst werden.
Achtung: Hochleistungs-Lampen erzeugen viel Wärme. Man muss sicherstellen, dass die Kühlsysteme dafür ausreichen. Wenn die Luftzufuhr zu schwach ist, kann das Gehäuse überhitzen – und die Glühfäden verbrennen schneller, als gewünscht.
In Betrieb nehmen
Das Gute an diesen Lampen ist, dass sie als Ersatz für die alten Heizelemente verwendet werden können. Die Verkabelung ist recht einfach – man muss nur sicherstellen, dass die Spannung mit der der vorhandenen Stromquellen übereinstimmt. Andernfalls kann es zu Flackern oder frühzeitiger Zerstörung der Lampen kommen.
Wenn eine Lampe kaputtgeht, dauert ihr Austausch nur wenige Minuten. Das ist im Vergleich zum Reparieren eines großen Industrieofens eine enorme Erleichterung. Man tauscht also ein schweres, energieintensives System gegen etwas Kompaktes aus, das wirklich funktioniert.