Warum die UHP-Infrarotbehandlung ein Vorteil für den Planeten – und für Ihren Produktionsprozess ist
In Halbleiterfabriken ist „Reinheit“ nicht nur ein Ziel – sie ist vielmehr entscheidend. Wenn auf den Wafern Rückstände vorhanden sind, gibt es Probleme.
Lange Zeit haben wir auf diese riesigen Konvektionsöfen zurückgegriffen. Doch seien wir ehrlich: Sie sind sperrig, verbrauchen viel Energie und nutzen oft chemische Lösungsmittel, die in modernen Produktionsstätten eigentlich nicht mehr verwendet werden sollen. Deshalb haben wir uns für UHP-Infrarotlampen entschieden. Das ist eine sauberere Methode zur Behandlung der Wafern – außerdem wird dadurch der Kohlenstofffootprint verringert. Zudem hilft dies dabei, die Anforderungen bezüglich freiwerdender Schwermetalle einzuhalten, ohne dabei große Herausforderungen zu haben.
Die Kraft der Strahlungswärme
Bei Systemen mit gezwungener Luftzirkulation geht viel Energie drauf, um die Luft um das Teil herum zu erhitzen. UHP-Lampen machen das nicht nötig – sie nutzen elektromagnetische Wellen, um die Wärme direkt auf das Substrat abzugeben.
Für diese Lampen verwenden wir Quarzkörper von hoher Reinheit. Warum? Weil wir nicht wollen, dass metalliche Ionen oder andere Verunreinigungen auf die Wafer gelangen. Das ist die einzige Möglichkeit, die Standards einer Reinraumumgebung einzuhalten, während gleichzeitig eine hohe Produktivität gewährleistet wird.
Schnelligkeit, Leistung – und eine Warnung
Wir entwickeln diese Lampen mit einer hohen Leistung pro Zentimeter – schließlich steht Schnelligkeit im Vordergrund. Wenn die Strahlungsenergie so gezielt eingesetzt wird, verkürzt sich die Trocknungszeit von Minuten auf Sekunden. Das ist wirklich schnell – und das ändert alles bezüglich der Energiekosten.
Aber es gibt eine Einschränkung: Man muss auf die Kühlung achten. Wenn die Luftzirkulation nicht richtig eingestellt ist, kann es dazu kommen, dass die Enden der Lampen überhitzt werden und die Filamente bereits früh ausbrennen. Es handelt sich dabei um ein leistungsstarkes Werkzeug – doch man muss es richtig nutzen.
Besser für die Erde, besser für die Produktion
Der Einsatz von schadstofffreien Methoden zur Trocknung bedeutet in der Regel höhere Temperaturen und präzisere Zeiteinstellungen. Hier kommt das Infrarot zum Tragen – man kann die Wellenlänge so einstellen, dass sie genau den Anforderungen des Fotoretins oder der Klebstoffe entspricht.
Man verschwendet keine Energie auf den Maschinenrahmen oder die Luft im Raum – die Energie wird direkt auf das Ziel gerichtet. Zudem sind diese Lampen eine bessere Alternative zu den sperrigen Öfen. Sie beanspruchen deutlich weniger Platz und schalten fast augenblicklich ein. Kein Warten mehr auf das Vorheizen eines riesigen Geräts. Durch den Verzicht auf schädliche Lösungsmittel kann man die Produktionsbedingungen verbessern, ohne die Produktivität zu beeinträchtigen. Es ist einfach eine intelligente Art zu produzieren.