Warum wir goldbeschichtete Gehäuse verwenden, um Energieverschwendung zu vermeiden
Beim Verarbeiten von Halbleiterwafern zählt jedes Watt. Wenn die Wände des Gehäuses die Wärme statt sie zurückzusenden, aufnehmen, verschwenden Sie nur Geld – außerdem besteht die Gefahr, dass die thermische Homogenität beeinträchtigt wird.
Deshalb verwenden wir goldbeschichtetes Edelstahl. Das ist eine einfache Lösung für dieses Problem: Wir wollen, dass alle Infrarotenergien direkt auf die Wafer treffen – und nicht auf die Wände des Gehäuses.
Die „Magie“ des Goldes
Poliertes Edelstahl reflektiert zwar etwas Wärme – doch bei kurzwelligen, hochintensiven Infrarotlampen reicht das nicht aus. Gold hingegen reflektiert über 98 Prozent dieser Infrarotenergien. Indem wir eine dünne Goldschicht auf die Innenseite des Heizgehäuses auftragen, verwandeln wir es im Grunde in einen Hochleistungs-Spiegel. Dadurch bleibt die Energie dort, wo sie hingehört – und das Gehäuse selbst wird nicht heiß.
Wie wir sie herstellen
Wir beginnen mit Edelstahl. Er ist robust, kann das Gewicht tragen und blättert nicht ab, wenn es heiß wird. Anschließend gestalten wir die Geometrie des Gehäuses so, dass der Lichtstrahl gezielt gelenkt wird.
Das Ergebnis? Die Wafer erreichen ihre Zieltemperatur schneller. Das ist ein großer Vorteil für die Prozesszeiten.
Aber es gibt einen Haken: Gold ist empfindlich. Wenn im Prozess korrosive Gase verwendet werden oder das Gehäuse schmutzig wird, beginnt die Goldschicht abzunehmen. Dadurch nimmt die Reflexionsfähigkeit ab – und damit auch die Effizienz. Man muss daher darauf achten, dass die Goldoberfläche immer sauber bleibt.
Inbetriebnahme
Bei der Inbetriebnahme wird es schwierig. Man muss sehr präzise vorgehen.
Wenn die Lampe nur wenige Millimeter vom Mittelpunkt abweicht, verschiebt sich der Brennpunkt. Plötzlich entstehen heiße Stellen auf den Wafern – und die Produktivität leidet darunter.
Wir haben diese Gehäuse so konzipiert, dass sie als Ersatz für Ihre aktuellen Wärmemodule dienen können. Überprüfen Sie jedoch zunächst Ihre Stromversorgung, um sicherzustellen, dass sie die maximale Belastung bewältigen kann. Und noch etwas: Überprüfen Sie unbedingt Ihre Kühllüfter. Ein Teil der Wärme wird immer in die falsche Richtung abgelenkt – und Sie möchten schließlich nicht, dass diese Energie Ihre Sensoren beschädigt.