Warum wir Gold zum Erhitzen von Siliziumwafeln verwenden
Beim Erhitzen von Siliziumwafeln ist jeder Watt, der nicht auf das Ziel trifft, einfach verschenkter Geldverlust. Noch schlimmer: Die überschüssige Wärme dringt in den Rahmen der Maschine ein – was man auf keinen Fall haben möchte.
Um dies zu verhindern, verwenden wir Infrarotlampen aus Kohlenstofffaser in Kombination mit reflektierenden Oberflächen, die mit Gold beschichtet sind. Aluminiumreflektoren funktionieren zwar auch gut, aber Gold steht auf einem völlig anderen Niveau.
Das Geheimnis liegt in der Reflexion
Gold reflektiert Infrarotlicht viel besser als Aluminium oder Silber. Wir legen eine dünne Schicht Gold auf die Reflektoroberfläche, damit die Photonen, die sonst einfach ins Leere abgeleitet würden, direkt nach vorne reflektiert werden. Dadurch entsteht ein konzentrierter, intensiver Wärmepunkt – und die Erhitzung erfolgt viel schneller. Es ist einfach effizient.
Die Herausforderungen (denn es gibt immer welche)
Das Problem ist: Wenn man so viel Energie auf die Wafer richtet, muss auch die Lampe unter diesem Druck stehen. Der Gehäuse der Lampe wird stark belastet. Man kann diese Lampen nicht einfach so einbauen und ignorieren – man muss sicherstellen, dass die Kühlfans oder Flüssigkeitssysteme wirklich ausreichen. Wenn die Luftzufuhr unzureichend ist, können die Reflektoren beschädigt werden oder die Fasern gehen viel zu früh kaputt.
In der Produktion funktioniert das prima
Wir haben diese Lampen so konstruiert, dass sie als Ersatz verwendet werden können – ohne dass man die gesamte Anlage neu konstruieren muss.
Und das Beste daran: Da die Energie so gezielt eingesetzt wird, kann man oft mit weniger Gesamtwattzahl die gewünschten Temperaturen erreichen. Die Stromversorgung wird Ihnen dafür dankbar sein.
Für die Ingenieure bedeutet das kürzere Bearbeitungszeiten sowie eine gleichmäßige Verteilung der Wärme über die Wafer. Es geht nicht darum, eine „schicke“ Beschichtung zu haben – sondern darum, sicherzustellen, dass die Wärme tatsächlich dorthin gelangt, wohin sie soll.