Ihre Anlagen sauber halten – und die Produktivität hoch halten
Wenn Sie eine Reinraumklasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich das Problem der Partikelentstehung. Schon ein kleiner Bruchstück eines billigen Heizelements kann dazu führen, dass Ihre Wafer zerstört werden. Das ist frustrierend, teuer und reduziert außerdem die Produktivität.
Deshalb haben wir auf herkömmliche Heizelemente verzichtet und stattdessen Hochreinquarz für unsere Infrarotlampen verwendet.
Warum Quarz?
Stellen Sie sich vor: Metallummantelte Heizelemente zerfallen oder oxidieren mit der Zeit. Synthetisches Hochreinquarz hingegen reagiert nicht mit der Umgebung – es gibt keine Metallionen, die in den Trocknungskammer gelangen könnten. Zudem kann Quarz die Hitze gut vertragen. Da er bei Temperatur Schwankungen kaum dehnt oder sich zusammenzieht, müssen Sie sich keine Sorgen darum machen, dass die Lampen bei schnellen Temperaturwechseln beschädigt werden.
Die Wärme genau dorthin bringen
Diese Lampen nutzen kurzwelliges Infrarotlicht. Der Vorteil ist, dass die Energie direkt auf das Substrat trifft. So wird keine Zeit damit verschwendet, zunächst die Luft im Raum zu erwärmen. Es geht wirklich schnell.
Hinweise zur Leistung
Diese Lampen können eine hohe Leistung liefern – doch Sie müssen dafür die passenden Stromversorgungen verwenden. Wenn zu viel Leistung in die Lampe geleitet wird, können die Filamente beschädigt werden. Um sicherzugehen, lassen wir immer einen Puffer von etwa 10 % bei den Spannungsreglern. Dadurch werden unerwünschte Stromspitzen vermieden.
Ein paar Tipps für die Installation
Wir verwenden Standardanschlüsse – dadurch ist es einfach, die Lampen beim Wartungsauftrag auszutauschen. Man muss nicht die ganze Maschine reparieren, nur um eine Lampe zu ersetzen.
Aber Vorsicht: Quarz ist empfindlich. Stellen Sie sicher, dass die Halterungen den Glasrohr nicht zusammendrücken. Wenn zu viel Druck auf das Rohr ausgeübt wird, kann es bereits beim ersten Erhitzen zerbrechen. Glauben Sie mir – das möchten Sie sicher nicht hören.
Und noch etwas: Seien Sie vorsichtig mit Ihren Händen. Hochreinquarz ist etwas teurer als normales Glas – außerdem ist es empfindlich. Schon eine einzige Fingerkuppe auf dem Glasrohr kann dazu führen, dass dort ein Hotspot entsteht, was wiederum zu einer vorzeitigen Beschädigung der Lampe führt. Wischen Sie die Lampen vor dem Anschließen kurz mit Isopropylalkohol ab – dann ist alles in Ordnung.