Ihre MEMS-Sensorwafer wirklich sauber trocknen lassen
Beim Trocknen von MEMS-Sensorwafern ist Wärme zwar wichtig – doch sie ist noch nicht alles. Das eigentliche Problem sind die Partikel, die beim Erhitzen und Abkühlen entstehen. In einem Reinraum der Klasse 100 reicht bereits ein winziger Splitter alter Isolierstoffe oder ein Stäubchen aus Metalloxid aus, um die ganze Charge zu ruinieren. Das ist frustrierend – und außerdem teuer.
Deshalb verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz für die Infrarotlampen.
Das Problem mit „Standard“Heizungen
Die meisten Heizelemente haben die Angewohnheit, beim Erhitzen und Abkühlen Gase abzugeben oder kleine Teilchen abzusondern. Wir tun das nicht. Durch den Einsatz von hochreinem Quarz erhalten wir ein Material, das extreme Temperaturschwankungen ohne Risse oder Beschädigungen übersteht.
Außerdem haben wir alle organischen Bindemittel sowie billige Beschichtungen entfernt. Warum? Weil diese Stoffe verdampfen können und sich direkt auf den Wafern ablagern. Stattdessen erhalten Sie eine Heizquelle, die einfach ihren Job erledigt – ohne Chaos zu hinterlassen.
Vermeiden Sie die Bewegung von Staub
Bei der Konvektionsheizung kommt es darauf an, dass Luft in Bewegung gerät – und damit auch Staub. Wir verwenden stattdessen Kurzwellen-Infrarotstrahlung. Dadurch wird Energie direkt in die Wassertropfen auf den Wafern geleitet. Das geht sehr schnell. Da keine Luft mit hoher Geschwindigkeit auf die Wafer wirkt, werden keine Partikel aufgewirbelt.
Die Details der Installation
Die Installation dieser Lampen in eine Trockenanlage ist nicht einfach – man muss die Leistung richtig einstellen. Diese Hochleistungsquarzlampen verbrauchen viel Energie, daher müssen auch die Stromversorgungen entsprechend dimensioniert sein.
Achten Sie auch auf eine gute Kühlung. Wenn die Gehäuse nicht richtig belüftet werden, kann die Umgebungswärme dazu führen, dass die Halterungen beschädigt werden. Das ist dann schwierig zu beheben – daher ist es wichtig, von Anfang an eine gute Belüftung zu gewährleisten.
Wir sorgen dafür, dass die Lampen leicht in Ihre Vakuumkammern oder Trocknungs Tunnel passen. Dadurch erfolgt eine direkte Wärmeübertragung, die Trocknungszeiten werden verkürzt und die Qualität der Produkte verbessert. Ein Hinweis: Stellen Sie sicher, dass Ihre Verkabelung der thermischen Belastung standhält. Niemand möchte schließlich kaputte Stecker haben.