Auf der Lithografieebene kann ein Hotspot mit einer Temperaturdifferenz von 0,5 °C auf der Waferoberfläche dazu führen, dass die notwendigen Toleranzen bezüglich der Oberflächenbeschaffenheit und der CD-Werte nicht mehr eingehalten werden können. Weder „Soft Bake“ noch „Hard Bake“ können solche Temperaturunterschiede ausgleichen – das war schon immer so und wird auch niemals anders sein. Wir haben daher einen Heizer entwickelt, der die Temperatur auf der Waferoberfläche konstant hält – mit einer Genauigkeit von ±0,1 °C.
Was wirklich wichtig ist: Es handelt sich um einen Heizer, der für saubere Produktionsumgebungen geeignet ist und nur wenige Partikel erzeugt. Er ist thermisch fest mit dem Waferständer verbunden. Die Temperatur wird in Echtzeit gesteuert, sodass der eingestellte Wert während des gesamten Prozesses konstant bleibt. Die Wiederholgenauigkeit wird durch die Mechanik sowie den Steuerkreis gewährleistet – dadurch sinken die Unterschiede zwischen den verschiedenen Chargen. Dadurch wird eine konstante Entfernung des Lösungsmittels, eine vorhersehbare Verteilung des Fotoleitmittels sowie eine stabile Oberflächenergie erreicht – genau das, was der Prozess benötigt.
Warum dieser Heizer in der Produktion ideal ist: In Umgebungen der Klasse 1–100 integriert sich dieser Heizer ohne Probleme – er erhöht schließlich nicht die Anzahl der Partikel. Die keimfreie Umgebung schützt die Qualität der Produkte und reduziert Ausschuss. Das gleichmäßige Wärmefeld ermöglicht es, die Trocknungszeit zu verkürzen, ohne die Leistung des Fotoleitmittels zu beeinträchtigen. Dadurch steigt die Produktivität und die Energiekosten pro Wafer sinken. Der Heizer kann rund um die Uhr betrieben werden – dadurch entstehen keine unplanmäßigen Ausfälle.
Was man beachten muss: Die Installation erfordert eine präzise Ausrichtung des Heizers am Waferständer sowie eine saubere, trockene Gasversorgung, um die Oberfläche des Heizers zu schützen. Der Heizer arbeitet mit Standardanschlüssen – doch bei einer Nachrüstung sind geringfügige mechanische Anpassungen notwendig. Die Lebensdauer des Heizers bleibt hoch, wenn die Abführung der Abgase sowie die Kühlung der Trockenkammer zur Wärmelast passen. Andernfalls kann die Kontrollgenauigkeit leiden. Wenn alles richtig angepasst wird, bleibt der Prozess tagtäglich innerhalb der erforderlichen Parameter.