Ihre chemischen Reinigungsbaden warm halten – ohne dass etwas explodiert
Seien wir ehrlich: Die Erwärmung der Bäder zur Reinigung von Halbleitern ist ziemlich schwierig. Man balanciert hier auf einem seidenen Faden. Einerseits muss die Temperatur genau eingestellt werden. Andererseits ist man umgeben von Chemikaliendämpfen, die bei der geringsten Entzündung dazu führen könnten, dass das Labor in eine Feuerkugel verwandelt wird.
Der Einsatz einer herkömmlichen Infrarotlampe in dieser Umgebung ist nicht nur riskant – er führt auch unweigerlich zu Problemen. Deshalb haben wir auf die Verwendung von Offenleiterheizungen verzichtet und stattdessen alles fest abgedichtet.
Das Geheimnis liegt im Abdichtungsmaterial
So gehen wir vor: Wir wickeln den Infrarotstrahler in eine hochwertige Quarzkapsel ein. Darüber legen wir noch eine weitere Schutzschicht. Dadurch entsteht eine physische Trennung zwischen dem beleuchteten Filament und den schädlichen Dämpfen. Kein Kontakt, keine Funken, keine Explosionen.
Außerdem stellen wir sicher, dass die verwendeten Materialien nicht von den Chemikalien angegriffen werden. Alles ist inert. Falls die Abdichtung doch versagt, funktioniert die Lampe einfach nicht mehr – sie „stirbt“ still und leise. Dadurch wird der Rest des Raumes nicht in Gefahr gebracht.
Umgehen mit der Hitze
Diese Systeme reagieren schnell. Das ist genau das, was man braucht – nämlich präzise Temperaturregelung. Doch so viel Wärme an einem Ort stellt wiederum eigene Probleme dar. Man kann die Lampe einfach nicht einfach in eine Box stecken und dabei davon ausgehen, dass alles funktioniert. Metall dehnt sich aus, Abdichtungen verschieben sich.
Um Lecks oder Risse durch die Hitze zu vermeiden, verwenden wir flexible, hochtemperaturfeste Dichtungen. Sie passen sich der Bewegung der Maschine an und sorgen dafür, dass die Abdichtung auch dann noch funktioniert, wenn die Maschine kalt ist oder bei voller Leistung läuft.
In Betrieb nehmen
Wir haben diese Geräte so konstruiert, dass sie direkt als Ersatz eingesetzt werden können. Man muss die gesamte Anlage nicht auseinandernehmen, um sie in Betrieb zu nehmen. Man muss sie einfach mit den vorhandenen Steuerungen verbinden – und schon funktioniert alles.
Eine kleine Hinweis: Aufgrund der zusätzlichen Schutzschicht ist die Intensität des Infrarotlichts etwas geringer als bei einer herkömmlichen Lampe. Das ist zwar kein Problem, aber man muss eventuell die Leisteeinstellungen etwas erhöhen, um die gewünschte Temperatur zu erreichen.