氢气传感器制造用加热器

如何为氢传感器精准控制温度 在制造氢传感器时，晶圆的温度必须精确控制。如果温度不准确，那么整批产品都会报废。不过，问题在于：大多数加热器会浪费大量能量。我们通过使用镀金反射器来解决问题——这样，热量就能集中在晶圆上，而不会散失到腔室壁上。 为什么黄金如此重要？ 想象一下普通的石英灯，它会将热量向四...