Mengapa kita beralih kepada kaedah pengeringan menggunakan sinar inframerah untuk wafer
Kini, terdapat dorongan yang kuat untuk menggunakan kaedah pengeringan menggunakan sinar inframerah. Ini merupakan pendekatan yang logik. Kita ingin mengelakkan penggunaan bahan pemanas berbasis pelarut, serta kesan negatif yang ditimbulkan olehnya di kilang-kilang lama. Dalam bilik bersih, konsep “mesra alam” atau “bebas plumbum” bukan sekadar slogan pemasaran semata-mata; ia merupakan keperluan yang sebenar. Teknologi inframerah membolehkan tenaga elektromagnetik disalurkan terus ke permukaan wafer. Tiada perantara diperlukan.
Cara penyampaian haba secara langsung
Bayangkan ketuhar konveksi biasa. Ia memanaskan udara terlebih dahulu, dan kemudian udara tersebut yang memanaskan permukaan wafer. Proses ini lambat, dan membuang tenaga secara percuma.
Lampu inframerah pula berbeza. Ia menghasilkan radiasi gelombang pendek yang dapat menembusi permukaan wafer dengan cepat. Ini disebut sebagai pemindahan tenaga secara langsung. Oleh kerana tiada tenaga yang dibazirkan untuk memanaskan setiap inci ruangan dalam ketuhar, haba dapat disalurkan dengan cepat. Sangat cepat. Inilah cara untuk mencapai sasaran penjimatan tenaga tanpa mengorbankan kelajuan proses pengeringan.
Mengimbangi jarak dan intensiti haba
Inilah bahagian yang sukar. Kebanyakan jurutera menghadapi masalah dalam menentukan jarak yang sesuai antara lampu dan wafer. Jika lampu dipasang terlalu dekat, permukaan wafer akan menjadi terlalu panas, sehingga boleh merosakkan wafer tersebut. Namun, jika lampu dipasang terlalu jauh, intensiti haba akan berkurangan, sehingga proses pengeringan menjadi lambat.
Ia merupakan situasi yang memerlukan keseimbangan yang tepat. Anda perlu mengimbangi kekuatan lampu dengan kapasiti penyejukan wafer. Lampu berintensiti tinggi memang bagus untuk mempercepatkan proses pengeringan, tetapi ia juga memberi beban yang besar pada sistem penyejukan. Jika sistem penyejukan tidak mampu mengatasi haba yang dihasilkan, lampu tersebut akan cepat rosak.
Cara kerja yang lebih efisien
Yang terbaik ialah kaedah pengeringan menggunakan sinar inframerah merupakan proses yang tidak memerlukan bahan kimia. Anda tidak perlu menggunakan katalis kimia atau bahan penstabil berbasis plumbum. Tidak ada bahan berbahaya yang terhasil, dan tidak perlu membersihkan sisa-sisa bahan tersebut. Anda hanya perlu menyambungkan lampu tersebut, tetapkan masa pelaksanaan proses pengeringan, dan semuanya akan berjalan lancar. Ini merupakan alternatif yang lebih baik berbanding sistem pemanasan tradisional yang rumit.