Alat ganti untuk lampu litografi ASML
Pada garisan 300mm ini, kita sebenarnya sudah menggunakan sepenuhnya kapasiti terma yang ada. Sebarang perubahan suhu sebanyak setengah darjah semasa...
Alat ganti untuk pemprosesan wafer secara dalam talian
Pada lini pengeluaran berukuran 300mm, kita tidak boleh membiarkan berlakunya sebarang penyimpangan semasa proses pemanasan bahan fotorezist, atau...