מרחק בטיחות לחימום הוופר
למה אנו עוברים לשימוש בחימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום ליישום על שבבים בשנים האחרונות ישנה דחיפה גדולה לשימוש בחימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום. זה...
חיישן אינפרא אדום מדויק לשבבים
הפסיקו לבזבז חום על פני השטח של הוופרים שלכם במפעלי ייצור, בזבוז אנרגיה אינו רק בעיה של תקציב – זו גם בעיה משמעותית. כשמחממים את הוופרים, אנו לא...
מחמם שבבים חסכוני באנרגיה
עצרו את שברי הזכוכית: שמרו על מחממי הוופרים שלכם מלהיהרס במערכות לעיבוד שבבים בעומס גבוה, כשנורת אינפרא-אדום נשברת, זה לא רק “אירוע של תקלה” – זו...
חיישן טמפרטורה לכלי עבודה עם שבבים
חדלו לבזבז אנרגיה על ציוד לעיבוד שבבי סיליקון כשאתם מחממים שבבי סיליקון, כל וואט שמבוזבז הוא בעצם כסף שנעלם לשווא.
הבעיה היא שמנורות אינפרא-אדום...
מחמם לייבוש שבבי חיישני MEMS
שמירה על ניקיון וופרי הייבוש כאשר מייבשים וופרי של חיישני MEMS, החום הוא רק חצי מהבעיה. הבעיה האמיתית היא היווצרות של חלקיקים זעירים שעלולים לפגוע...
מחזיר אור לנורת ייבוש הוופר
נורות אינפרא-אדום מקוורץ ברמת טוהר גבוהה: החום הנקי שאתם זקוקים לו עבור חדרי ניקיון מדרגה 100
אם אתם מבצעים תהליכי ייבוש של שבבים בחדר ניקיון מדרגה...
מכשיר למדידת מתח פני השטח של וופרים
על גבי שטח הליתוגרפיה, נקודת חום בטמפרטורה של 0.5°C על פני הוואפר יכולה לפגוע באיכות השכבה העליונה שנמצאת על הוואפר, וכן בשליטה ברמת ה-CD. שימוש...
חלקי חילוף לעיבוד שבבים באופן מקוון
בקו ייצור בעל אורך 300 ממ, אי אפשר להרשות לעצמו שינויים בתהליך החימום של הפוטורזיסט, או היווצרות של חלקיקים במהלך ייבוש הוואפרים. כאשר המשאבים...