נורת קוורץ עם חוט טונגסטן

בחדר הייצור, שינוי של 0.1°C בטמפרטורת האפייה גורם לשינוי במבנה הפוטורזיסט בכמה ננומטרים – ושינוי זה משפיע על תוצאות הייצור. בתהליך הליתוגרפיה, השליטה...