为什么我们选择用红外固化技术来处理晶圆
最近，人们越来越倾向于使用红外固化技术。这其实是很合理的——我们希望摆脱传统的溶剂加热方式，因为那种方式会带来巨大的碳排放问题。在洁净室里，“环保”或“无铅”不再只是营销宣传中的口号，而是实实在在的要求。红外技术通过将电磁辐射直接作用于基材来实现固化效果，无需任何中间介质。
直接加热的诀窍
想象一下传统的对流式烤箱：它先加热空气，再由空气来加热工件。这种方式效率低下且浪费能源。 而红外灯则不同。它们发出的短波辐射可以直接穿透晶圆表面。这就是所谓的直接能量传递。由于不需要浪费能量去加热整个腔体，因此热量可以几乎立即传递到晶圆上。速度极快。这样就能在不牺牲速度的前提下实现节能目标。
距离与热量的平衡
不过，这里有个难题：大多数工程师都难以把握好灯具与晶圆之间的安全距离。 如果灯具安装得太近，就会导致局部过热，甚至烧毁晶圆的边缘。但如果距离太远，热量就会减弱，从而影响加工效率。 这就像走钢丝一样，需要找到灯具的功率密度与晶圆的热容量之间的平衡点。高强度的灯具虽然能提高加工速度，但会给冷却系统带来巨大压力。如果冷却系统无法应对产生的热量，那么灯具很快就会损坏。
更清洁的加工方式
最棒的是，红外固化是一种无化学物质的加工方式。无需使用化学催化剂或含铅的稳定剂。没有有害气体产生，也无需处理任何废弃物。只需将灯具连接好，设置好时间参数，一切就都解决了。这是一种简单且高效的替代方案，完全可以取代那些繁琐的传统加热系统。