如何确保晶圆在干燥过程中保持清洁
在干燥MEMS传感器晶圆时，热量虽然很重要，但真正的难题在于颗粒物的污染。在100级洁净室中，哪怕有一小片旧的绝缘材料或一点金属氧化物，都可能毁掉整批产品。这不仅令人沮丧，还会带来高昂的成本。
因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。
“普通”加热方式的问题
大多数加热元件在加热和冷却过程中都会释放出气体或碎片。而我们不会遇到这种问题。由于使用了高纯度石英，这种材料能够承受极端的温度变化，而不会出现裂纹或凹痕。
此外，我们还去掉了那些有机粘合剂和廉价涂层。因为这些物质会挥发并附着在晶圆上。而使用高纯度石英则可以确保没有杂质残留。
避免灰尘的扩散
对流式加热依赖于空气流动，而空气流动则意味着灰尘也会随之移动。我们则使用短波红外光来加热晶圆。这种方式能快速将能量传递到晶圆表面的水滴上。由于不需要用高速空气来加热，因此不会在洁净室中产生灰尘。
安装时的注意事项
将这些灯具安装在干燥装置中并非简单的“即插即用”过程。必须确保电源供应足够稳定。这些高功率的石英管会产生很大的热量，因此需要合适的电源供应。
同时，还需要确保良好的冷却效果。如果外壳的通风不良，那么周围的热量就会导致安装支架变形。一旦发生这种情况，修复起来会很麻烦，所以从一开始就要确保良好的气流循环。
我们还将这些灯具的尺寸设计得尽可能小，以便它们能够轻松地放入真空室或干燥隧道中。这样不仅可以实现高效的加热，还能缩短干燥时间，提升成品率。请注意：确保电路的承载能力足以应对如此高的热量负荷。没人希望看到电线因过热而损坏。