
利用红外固化技术降低工厂的碳排放
说实话,半导体制造厂面临着巨大的压力,必须实现净零排放的目标。但实际上,大部分能源消耗都发生在产品的固化过程中。
传统的对流式烤箱其实是一种巨大的能源浪费装置——它们会白白消耗大量电能,用来加热那些根本不会接触产品的空气。
而使用经过认证的红外固化灯则完全改变了这一状况。它不需要先加热整个房间,而是直接针对晶圆进行加热。这种方式更高效。
不必再等待烤箱升温了。
红外灯的最大优点就是能够立即开始工作。您无需等待整个房间达到指定温度才能开始加工芯片。只需按下开关即可。通过省去预热步骤,每块晶圆的能耗就能大幅降低。对于大规模生产的工厂来说,这些节省下来的时间相当可观。这是一种简单有效的办法,可以降低整体碳排放,而无需对整个基础设施进行改造。
技术细节
为了让热量深入到光刻胶或粘合剂层中,我们需要使用短波红外光。同时,由于洁净室里不能有任何污染,所以我们使用高纯度的石英外壳来防止气体泄漏。您可以根据需要调节功率密度,以控制升温速度。
需要注意的是,高功率密度的红外灯会产生大量热量,因此必须确保冷却系统能够正常工作。如果空气流动不足,那么灯泡就会过热,导致灯丝过早烧毁。
安装与使用
这些红外灯可以直接替代原有的加热元件。其接线也很简单,只要确保电压与现有电源匹配即可。否则,可能会出现灯光闪烁或灯泡提前损坏的情况。一旦灯泡损坏,更换它只需要几分钟的时间。这可比修理大型工业烤箱容易多了。您可以用这种小型、高效的产品来替代那些笨重且耗能巨大的设备。