保持设备的清洁，从而提升产量
如果你正在使用100级洁净室，那么你肯定知道颗粒污染带来的麻烦。哪怕是来自廉价加热元件的微小碎片，都可能毁掉你的晶圆。这不仅令人沮丧，还会带来巨大的经济损失，同时也会降低生产效率。
因此，我们不再使用普通的加热器，而是改用高纯度的熔融石英来制作红外灯管。
为什么选择石英？
金属外壳的加热器最终会出现剥落或氧化现象。但合成熔融石英则不同——它不会与周围环境发生反应，也不会释放出金属离子到干燥舱中。此外，它还能很好地承受高温。由于其在温度变化时几乎不会膨胀或收缩，所以无需担心灯管会在快速升温过程中破裂。它的稳定性非常高。
将热量精准地传递到需要的地方
这些灯管利用的是短波红外辐射。好处在于，能量可以直接作用于被加热的物体上，无需先加热整个房间内的空气。这样处理起来更快，效率更高。
不过需要注意的是：虽然这些灯管可以承受很高的功率，但你仍需确保电源供应足够强大。如果给灯管施加过高的功率，就会烧坏灯丝。为避免这种情况，我们通常会在电压调节器上留出约10%的余量，这样就能避免电压波动带来的问题。
安装时的几点提示
我们使用标准连接器，因此在进行维护时更换灯管非常方便。不必为了更换一个灯管而拆解整个机器。
不过有一点需要注意：石英质地脆弱。在安装时，必须确保支架不会压迫灯管。如果压力过大，灯管在第一次加热时就可能会破裂。相信我，你肯定不想听到那种声音。
最后一点：处理灯管时务必小心。高纯度石英的价格比普通玻璃要贵，而且它也很敏感。哪怕只是留下一个指纹，也有可能导致局部过热，进而使灯管过早损坏。在接线之前，用异丙醇将其擦拭干净，这样就可以避免问题了。