
为何我们使用镀金外壳来避免能源浪费
在加工半导体晶圆时,每一瓦特的能量都至关重要。如果外壳壁面吸收了热量而非将其反射回去,那无疑是在浪费金钱,同时还会影响热均匀性。
因此,我们选择使用镀金不锈钢作为外壳材料。这是一种简单的解决方案,能够有效解决这个问题:确保所有红外能量都能照射到晶圆上,而不是被外壳壁面吸收。
黄金的神奇之处
经过抛光处理的不锈钢虽然可以反射部分热量,但对于那些波长较短、强度较高的红外光来说,这样的反射效果显然不够理想。而黄金则不同——它能够反射超过98%的红外能量。通过在外壳内部添加一层薄薄的黄金膜,我们实际上就把整个外壳变成了一个高效的热反射镜。这样一来,热量就不会被外壳吸收而导致其变热,而是直接作用于晶圆上。
我们是如何制造这些产品的
我们首先使用不锈钢作为基材。因为它坚固耐用,能够承受较高的温度,而且不会因为高温而出现剥落现象。接着,我们会精心设计外壳的几何形状,以使光线更加集中。这样一来,晶圆的升温速度就会更快,从而大大缩短生产周期。
不过,也有个问题:黄金比较娇贵。如果生产过程中有腐蚀性气体存在,或者外壳表面被污染,那么黄金涂层就会逐渐磨损,导致反射率下降,进而影响效率。因此,必须确保外壳表面的完整性。
如何将它们安装到生产线上
安装过程其实相当复杂,需要精确操作。如果灯具的位置偏差几毫米,焦点就会发生变化,从而导致晶圆上出现局部过热的情况,进而降低产量。
我们设计的这些产品可以直接替代现有的加热模块,但请先确认电源是否能够承受峰值负荷。另外,还要检查冷却风扇的功能——因为总会有部分热量散失到错误的方向,而你肯定不想让这些多余的熱量损坏传感器。