PID控制型半导体加热器

在制造过程中，如果在干燥或烘烤阶段温度出现波动，那么这种波动不仅会体现在数据图表上，还会直接影响产品的良率。1摄氏度的温度变化就会导致关键尺寸发生纳米级的偏差；而脏污的加热器则可能释放出有害颗粒，从而破坏产品品质。为此，我们设计了采用PID控制技术的半导体加热器，从而从源头消除这类波动。 从技术角...