LPCVD炉加热元件

在LPCVD生产线上，加热元件一旦出现温度偏差，就再也没有第二次修正的机会了。一旦出现这种偏差，就会导致薄膜厚度不均、掺杂区域位置错误，进而产生大量废品。因此，我们设计了特殊的加热元件，以确保每次运行时温度都能保持稳定。 从技术层面来看，什么最重要？ 该加热元件依赖于石英材料的稳定性以及短波红外线...