ہم ویفروں کو خشک کرنے کے لئے آئی آر تکنالوجی کیوں استعمال کر رہے ہیں؟
حال ہی میں، آئنفراریڈ (IR) تکنالوجی کا استعمال بہت عام ہو گیا ہے۔ یہ منطقی بھی ہے؛ ہم تو حلال پاؤڈروں کے ذریعہ حرارت پیدا کرنے کے طریقوں سے دور جانا چاہتے ہیں، کیوں کہ ان سے بہت زیادہ کاربن کا اخراج ہوتا ہے، جو پرانی فیکٹریوں کا مسئلہ ہے۔ کلین روم میں “پائیدار” یا “بغیر سیسے والا” مواد استعمال کرنا صرف مارکیٹنگ کے مقاصد کے لئے نہیں، بلکہ یہ ایک ضرورت ہے۔ آئی آر تکنالوجی میں الیکٹرومیگنیٹک شعاعیں براہِ راست سبسٹریٹ میں پہنچتی ہیں؛ کوئی واسطہ نہیں ہے۔
براہِ راست حرارت دینے کا طریقہ
ایک عام کنویکشن اوون کے بارے میں سوچیں… یہ ہوا کو گرم کرتا ہے، اور پھر ہوا ہی ویفر کو گرم کرتی ہے۔ یہ عمل بہت سست ہے، اور بہت زیادہ توانائی ضائع ہوتی ہے۔
آئی آر لیمپ الگ ہی ہیں… یہ مختصر ترین شعاعیں خارج کرتے ہیں، جو براہِ راست ویفر کی سطح پر پہنچتی ہیں۔ ہم اسے “براہِ راست توانائی منتقلی” کہتے ہیں۔ چوںکہ آپ کو چیمبر کے ہر انچ کو گرم کرنے کی ضرورت نہیں ہے، اس لئے حرارت فوراً ہی پہنچ جاتی ہے… یہ بہت تیز ہے۔ اور یہی طریقہ ہے جس سے ہم رفتار کو قربان کیے بغیر توانائی کی بچت کر سکتے ہیں۔
فاصلہ اور حرارت کا توازن
یہی وہ مرحلہ ہے جہاں مشکلات پیدا ہوتی ہیں… میرے جاننے والے زیادہ تر انجینیر، لیمپ اور ویفر کے درمیان مناسب فاصلے کے مسئلے سے دوچار ہیں۔
اگر لیمپ کو بہت قریب رکھا جائے، تو ویفر کے کنارے گرم ہو جاتے ہیں، یا ویفر خراب ہو سکتا ہے۔ لیکن اگر لیمپ کو بہت دور رکھا جائے، تو حرارت کی شدت کم ہو جاتی ہے، اور کام کی رفتار بھی کم ہو جاتی ہے۔
یہ ایک مشکل کام ہے… لیمپ کی توانائی کی شدت اور ویفر کی حرارتی صلاحیت کے درمیان توازن قائم کرنا ضروری ہے۔ زیادہ توانائی والے لیمپ تو رفتار کے لئے بہتر ہیں، لیکن ان سے کولنگ سسٹم پر بہت زیادہ دباؤ پڑتا ہے۔ اگر کولنگ سسٹم ماحولیاتی حرارت کا مقابلہ نہ کر سکے، تو لیمپ جلد ہی خراب ہو جاتے ہیں۔
ایک بہتر طریقہ
سب سے اچھی بات یہ ہے کہ آئی آر تکنالوجی ایک خشک عمل ہے… آپ کو کیمیائی کیٹالسٹوں اور سیسے والے مواد کی ضرورت نہیں ہے۔ کوئی خطرناک مواد بھی نہیں ہے… آپ صرف لیمپ کو جوڑیں، ٹائمر سیٹ کریں، اور سب کچھ منظم ہو جاتا ہے۔ یہ پرانے ترموکیولر سسٹموں کے مقابلے میں ایک بہترین متبادل ہے۔