لیتھوگرافی کے عمل میں، ویفر پر 0.5°C کا درجہ حرارت بھی اس کی سطح کی کوالٹی کو خراب کر سکتا ہے۔ “سافٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” طریقوں سے بھی غیر یکساں درجہ حرارت کو دور نہیں کیا جا سکتا – کبھی نہیں، کبھی بھی نہیں۔ ہم نے ایک ایسا ہیٹر تیار کیا ہے جو ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کو یکساں رکھتا ہے، اور اس کی درستگی ±0.1°C ہے۔
جو چیزیں اہم ہیں: یہ ایک صاف کمرے کے ماحول کے لئے موزوں ہیٹر ہے؛ اس کا ڈیزائن ایسا ہے کہ یہ ویفر سے بہت قریب رہتا ہے۔ درجہ حرارت کو ریئل ٹائم میں کنٹرول کیا جاتا ہے، تاکہ پورے عمل کے دوران درجہ حرارت مستقل رہے۔ اس کی باقاعدگی کو مکینیکل سسٹم اور کنٹرول لوپ میں شامل کیا گیا ہے، اسی لئے مختلف پیداواری عملوں میں فرق کم ہو جاتا ہے۔ اس سے یکساں سولوونٹ کا استعمال، پیشن گوئی کے مطابق فوٹوریزسٹ کا استعمال، اور مستقل سطحی توانائی حاصل ہوتی ہے – یہی وہ چیزیں ہیں جو عمل کے لئے ضروری ہیں۔
پیداواری عمل میں اس کی اہمیت: کلاس 1–100 کے ماحول میں، یہ ہیٹر بغیر کسی مسئلے کے کام کرتا ہے۔ صفر ذرات کی موجودگی سے پیداوار برقرار رہتی ہے، اور بیکار مواد سے بچا جا سکتا ہے۔ یکساں حرارتی میدان کی وجہ سے بیکنگ کا وقت کم ہو جاتا ہے، جس سے پیداواری صلاحیت بڑھ جاتی ہے، اور ہر ویفر پر خرچ ہونے والی توانائی کم ہو جاتی ہے۔ یہ ہیٹر 24/7 کام کرنے کے لئے بنایا گیا ہے، اس لئے حرارتی تغیرات اور ہاٹ اسپاٹس کی وجہ سے کوئی غیر منصوبہ بند وقفہ نہیں ہوتا۔
کیا چیزیں درست کرنے کی ضرورت ہے: اس ہیٹر کو ویفر چک سے درست طریقے سے جوڑنا ضروری ہے، اور ہیٹر کی سطح کو صاف اور خشک گیس سے بچانا ضروری ہے۔ یہ ہیٹر معیاری انٹرفیسز کے ساتھ کام کرتا ہے، لیکن اگر کوئی ترمیم کی جائے، تو معمولی مکینیکل تبدیلیاں ضروری ہیں۔ جب بیکنگ چیمبر کا اخراج اور کولنگ سسٹم حرارتی بوجھ کے مطابق ہوتا ہے، تو اس ہیٹر کی کارکردگی برقرار رہتی ہے؛ ورنہ کنٹرول بینڈوتھ متأثر ہو سکتا ہے۔ اگر اسے درست طریقے سے سیٹ کیا جائے، تو عمل ہر روز درست طریقے سے چلتا رہتا ہے۔