
اپنے ویفرز کو صاف رکھنے کے طریقے
جب آپ MEMS سینسر ویفرز کو خشک کرتے ہیں، تو حرارت تو صرف نصف مسئلہ ہے؛ اصل مسئلہ تو چھوٹے چھوٹے ذرات کا پیدا ہونا ہے۔ کلاس 100 کے صاف کمروں میں، پرانے انسولیشن مواد کا ایک چھوٹا ٹکڑا یا دھاتی آکسائڈ کا ایک چھوٹا ذرہ بھی پورے بیچ کو برباد کرنے کے لئے کافی ہے۔ یہ بہت پریشان کن اور مہنگا عمل ہے۔
اسی لئے ہم اعلیٰ خالصیت والے سنتھیٹک کوارٹز انفراریڈ لیمپوں کا استعمال کرتے ہیں۔
“معیاری” حرارت کے مسائل
زیادہ تر حرارت پیدا کرنے والے آلات میں یہ عادت ہوتی ہے کہ جب وہ گرم یا ٹھنڈے ہوتے ہیں، تو ان سے گیسیں یا چھوٹے چھوٹے ذرات خارج ہوتے ہیں۔ ہم ایسا نہیں کرتے۔ اعلیٰ خالصیت والے کوارٹز کا استعمال کرکے ہم ایسا مواد حاصل کرتے ہیں جو شدید حرارت کا سامنا کرسکتا ہے، بغیر ٹوٹنے یا خراب ہونے کے۔
ہم نے نامیاتی بائنڈرز اور سستے کوٹنگز کو بھی ختم کردیا۔ کیوں؟ کیونکہ یہ چیزیں بخارات کی شکل میں بدل کر ویفر پر جم سکتی ہیں۔ اس کے بجائے، ہمیں ایسا حرارتی ذریعہ ملتا ہے جو صرف اپنا کام کرتا ہے، بغیر کسی گندگی کے۔
گرد و غبار کو روکنا
کنویکشن ہیٹنگ کا مسئلہ یہ ہے کہ اس کے لئے ہوا کی ضرورت ہے، اور ہوا کے بہاؤ کی وجہ سے گرد و غبار بھی بہتا ہے۔ ہم شارٹ-ویو انفراریڈ کا استعمال کرتے ہیں۔ شارٹ-ویو انفراریڈ، حرارت کو براہِ راست ویفر پر موجود پانی کے قطروں تک پہنچاتا ہے۔ یہ بہت تیز ہے… اور چونکہ ہم ویفر پر تیز رفتار ہوا نہیں ڈالتے، اس لئے کلین روم میں گرد و غبار بھی نہیں پیدا ہوتا۔
سیٹ اپ کی تفصیلات
ان لیمپوں کو ڈرائنگ اسٹیشن میں نصب کرنا اتنا آسان نہیں ہے۔ آپ کو بجلی کی مناسب مقدار کو بھی درست کرنا ہوگا۔ ان اعلیٰ واٹیج والے کوارٹز لیمپوں کی وجہ سے بجلی کی ضرورت بہت زیادہ ہوتی ہے۔ آپ کو اپنے کولنگ سسٹم کی بھی جانچ کرنی ہوگی۔ اگر کمرے میں ہوا کا بہاؤ صحیح نہ ہو، تو حرارت کی وجہ سے ویفر کے ماونٹنگ بریکٹ خراب ہو سکتے ہیں۔ اسے ٹھیک کرنا بہت مشکل ہے، اس لئے شروع سے ہی ہوا کا بہاؤ درست رکھنا ضروری ہے۔
ہم ان لیمپوں کو ایسی جگہ رکھتے ہیں کہ وہ آسانی سے ویکیوم چیمبرز یا ڈرائنگ ٹنلوں میں فٹ ہو جائیں۔ اس طرح براہِ راست حرارت منتقل ہوتی ہے، خشک ہونے کا عمل تیز ہوتا ہے، اور پیداوار بھی بہتر ہوتی ہے۔ صرف ایک بات یاد رکھیں: اپنے وائرنگ کو حرارتی بوجھ کے لحاظ سے مناسب رکھیں… کوئی بھی جلے ہوئے وائرنگ کو پسند نہیں کرتا۔