300 mm hatlarında, zaten termal bütçeyi zorlayarak çalışıyoruz. Yumuşak fırınlamada yarım derecelik bir sapma bile fotoresist profilini bozmaya yetiyor. Sert fırınlamadaki düzensizlikler ise istenmeyen yerlerde ortaya çıkıyor; örneğin kenarlarda kalıntılar oluşuyor. Bu tür sapmalar sadece işlem hızını yavaşlatmakla kalmaz, aynı zamanda atık üretimine de neden olur. Bu sorunları ortadan kaldırmak için ASML litografi lambalarının yedeklerini kullanıyoruz.
Teknik açıdan önemli olanlar: ASML platformunun termal davranışlarını, fotoresist fırınlaması için optimize edilmiş kısa dalga ve orta dalga güçleriyle eşleştiriyoruz. Fırınlama yüzeyindeki düzenlilik ±0,1°C civarında oluyor ve döngüden döngüye tekrarlanabilirlik ise ±0,2°C içinde kalıyor. Bu lambalar, parça üretmemesi açısından 1–100 sınıfı temiz odalarda kullanılıyor ve bu durum yerinde doğrulanmıştır. Lambalar 24/7 çalışacak şekilde tasarlanmıştır; 5.000 saatten fazla süre boyunca %5’in altında bir verimle çalışabiliyorlar. Ayrıca voltajlar ve bağlantı noktaları ASML cihazlarının arayüzleriyle uyumlu olduğundan, lamba değişimi sırasında herhangi bir ayar yapılmasına gerek kalmıyor.
Neden bu yöntem işe yarıyor? Hatın sürekli çalışmasını sağlıyor. Bu yedek lamba sayesinde hem yumuşak hem de sert fırınlama sıcaklıkları sabitleniyor; böylece kritik boyut kontrolü daha iyi hale geliyor ve kenarlardaki kalıntıların giderilmesi daha kolay hale geliyor. Daha iyi termal tekrarlanabilirlik, daha az yeniden işleme ve atık anlamına gelir; ayrıca lamba değişiminden sonra daha hızlı normale dönüş sağlanır. Ayrıca enerji tüketimi de azalır; çünkü lamba hızla belirlenen sıcaklığa ulaşıyor ve minimum sapma ile orada kalıyor. Böylece reçete değiştirmeden termal maliyetler düşürülüyor.
Birkaç pratik ipucu: Kurulum oldukça basittir, ancak lambayı temiz tutmak ve ESD kurallarına uymak önemlidir. Kuvars kılıf üzerindeki parmak izleri sıcak noktalara neden olabilir. Kullanımdan önce cihazın yazılımını kontrol edin; bazı eski kontrol cihazlarının yeni lamba eğrisine uyum sağlaması için kalibrasyon gerekebilir. Ayarlamalar yapıldıktan sonra, dozaj ve sıcaklık değerlerini doğrulamak için kısa bir test yapın; ardından bu yedek lambayı bakım programınıza ekleyin.