300 mm’lik üretim hatlarında, foto dirençlerin yumuşak pişirilmesi sırasında meydana gelen sapmalar veya waferlerin kurutulması sırasında oluşan parça artışlarına tolerans gösterilemez. Termal bütçe sınırlı olduğunda, ısıtma elemanları sadece donanım değil; aynı zamanda işlemin kendisidir. Online kızılötesi ısıtma modüllerimiz, tam da bu tür durumlar için tasarlanmıştır; böylece tahmin yerine tekrarlanabilir sıcaklık kontrolü sağlanır.
Teknik açıdan önemli olanlar
Hızlı ve doğrudan enerji aktarımı için kısa dalga boylu kızılötesi ışınlar kullanılır. Bu sayede pişirme bölgesinde waferler arasında ±0,1°C gibi düşük bir tutarlılık elde edilir; bu da yumuşak ve sert pişirme işlemleri için gereken ölçüttür. Emisörler temiz çalışır; hiçbir parça üretilmez ve Class 1’den Class 100’e kadar olan ortamlarda kullanılabilirler. Çıkış gücü 5.000 saatten fazla süre boyunca sabit kalır, böylece tekrarlanabilirlik korunur ve lambanın yaşlanmasıyla birlikte CD ve kusur oranları değişmez.
Neden işe yarar?
Litografi ünitelerinde, modül yumuşak pişirme sıcaklığını sabitler; böylece çözücünün buharlaşması direnç üreticisinin belirttiği standartlara uygun olur. Kurutma işleminde ise su lekeleri olmadan işlem tamamlanır; bu da yeniden işleme ve atık miktarını azaltır. Enerji tüketimi de azalır, çünkü emisörler sadece hedef bölgeyi ısıtır, tüm odayı değil.
Planlamanız gereken şeyler
Kızılötesi ısıtma, doğrudan görüş alanına dayalı olduğundan geometri ve emisivite önemlidir. Emisörleri doğru şekilde yerleştirin ve wafer yığını için uygun görüş açısını belirleyin. Daha sonra, ayarlanan sıcaklığın gerçek wafer sıcaklığına ne kadar yakın olduğunu görmek için bir test yapın. Stabil hale gelmek için kısa bir ısınma süresi gerekecektir; ardından sıcaklık sabit kalır. Sıcaklık kontrolü, istikrarlı bir işlem ile maliyetli sorunların ortaya çıkmasını engeller.