Üretim alanında, fırın sıcaklığında meydana gelen 0,1°C’lik bir değişiklik bile fotoresist profilini nanometreler bazında değiştirir ve bu değişiklik verimlilik tablosunda kendini gösterir. Litografide termal koşullar önemlidir; bu koşullar bir tür sınır koşuludur. Biz de bu sınırlara uygun şekilde tungsten filamentli kuvars lambalar ürettik; böylece işlemin gerektirdiği hassasiyet düzeyinde ısı sağlanmış oluyor.
Kısa dalga boyundaki kızılötesi enerji, yüksek saflıkta kuvars içindeki tungsten filamentinden gelir ve bu sayede hızlı ve güvenilir ısıtma sağlanır. Sıcak bölgede waferin sıcaklığı ±0,1°C civarında sabit kalır ve sıcaklık ayarı milisaniyeler içinde gerçekleşir. Bu cihazlar, parça oluşumunu sıfıra indirmek ve kirlenmeyi önlemek için özel malzemeler kullanılarak tasarlanmıştır. Bu cihazlar 24/7 çalışır; 5.000 saat üzerinde çalıştıklarında bile verimlilik kaybı %5’in altındadır.
Önemli olan nokta, fırın istasyonundadır. Yumuşak fırınlama ve sert fırınlama işlemleri, fotoresistin çözücü profili ve yapışma özelliklerini belirler. Fırın çok soğuksa, film çözücüyü emer; çok sıcaksa ise profil bozulur. Lambalarımız fırın sıcaklığını sabit tutar, böylece her döngüde kritik boyutlar ve yan duvar açıları standartlar içinde kalır.
Bunun sonucunda daha düzgün bir kaplama elde edilir, atık miktarı azalır ve yeniden işleme ihtiyacı da düşer. Ayrıca, ısı transferinin radyant ve verimli olması sayesinde enerji tasarrufu sağlanır. Lambaların uzun ömürlü olması da bakım aralıklarını uzatır ve planlanan duruş sürelerini azaltır.
Montajı oldukça basittir, ancak yine de dikkatli olmak gerekir. Lambayı yansıtıcıların geometrisine ve termal kontrol cihazının PID ayarlarına uyumlu hale getirmek gerekir ki sıcak noktalar oluşmasın. Gerilim ve bağlantı noktalarının OEM fırın veya kaplama cihazıyla uyumlu olduğundan emin olunmalı ve egzoz yolunun temiz ve kuru olduğundan emin olunmalıdır.
Kuvarsı bir işlem odası gibi kullanın. Eldiven giyin, yüzeyin parmak izlerinden arındırılmasına dikkat edin ve partiyi serbest bırakmadan önce kalibre edilmiş bir wafer ile fırınlamayı doğrulayın.