Por que estamos migrando para o uso de radiação infravermelha na cura de wafers
Ultimamente, há um grande interesse pelo uso da radiação infravermelha para esse fim. Faz sentido: tentamos nos afastar do aquecimento baseado em solventes e daquela enorme pegada de carbono causada pelos métodos tradicionais de produção. Em uma sala limpa, falar em “processos ecologicamente corretos” ou “sem chumbo” não é apenas uma questão de marketing – é uma exigência real. A tecnologia de radiação infravermelha realiza sua função enviando radiação eletromagnética diretamente para a superfície do substrato. Sem intermediários.
O truque para o aquecimento direto
Pense em um forno convencional: ele aquece o ar, e o ar, por sua vez, aquece a peça a ser tratada. É um processo lento e ineficiente.
As lâmpadas de radiação infravermelha são diferentes. Elas emitem radiação de onda curta que atinge diretamente a superfície do wafer. Chamamos isso de transferência direta de energia. Como não há necessidade de aquecer cada centímetro cúbico da câmara, o calor é fornecido quase instantaneamente. É rápido, realmente rápido. E é assim que podemos alcançar metas de economia de energia sem sacrificar a velocidade.
O equilíbrio entre distância e calor
Aqui está o ponto complicado: a maioria dos engenheiros com quem trabalho tem dificuldades em determinar a distância adequada entre a lâmpada e o wafer.
Se a lâmpada estiver muito perto, haverá pontos quentes, e as bordas do wafer podem ser danificadas. Mas se ela estiver muito distante, a eficiência do processo diminui, pois a intensidade do calor diminui.
É como andar numa corda bamba: é preciso equilibrar a densidade de energia emitida pela lâmpada com a massa térmica do wafer. Lâmpadas de alta intensidade são ótimas para aumentar a velocidade, mas causam muita pressão no sistema de resfriamento. Se o sistema de resfriamento não conseguir lidar com o calor gerado, as lâmpadas se queimarão antes do esperado.
Uma maneira mais eficiente de trabalhar
O melhor de tudo? O processo de cura por radiação infravermelha é um processo seco. Não há necessidade de usar catalisadores químicos ou estabilizantes à base de chumbo. Não há vapores tóxicos, nem resíduos perigosos para serem tratados. Basta conectar a lâmpada, ajustar os temporizadores, e tudo fica controlado. É uma substituição simples e eficaz para os antigos sistemas de aquecimento.