Pare de desperdiçar energia com ferramentas inadequadas para o processamento de wafers de silício. Quando se aquece wafers de silício, cada watt desperdiçado representa dinheiro perdido. O problema é que as lâmpadas infravermelhas convencionais dispersam a energia por toda parte. Mas, em uma ferramenta de processamento de wafers, só nos interessa o calor que atinge o substrato. Tudo o resto é apenas ruído. Resolvemos isso com a tecnologia de revestimento em ouro. Em vez de permitir que essa energia se dissipue no corpo da ferramenta, nós a direcionamos de volta para o wafer.
Por que ouro?
Porque o ouro é excelente em termos de reflexividade infravermelha. A maioria das pessoas usa refletores de alumínio, mas eles absorvem muita energia quando as temperaturas sobem. O ouro não age dessa maneira: ele reflete os fótons quase sem perdas. Isso significa que cada watt extra fornecido pela fonte de energia realmente é utilizado para elevar a temperatura da superfície do wafer.
Trata-se de foco
Não estamos apenas fazendo com que a luz se disperse; estamos direcionando-a para um ponto específico. A curvatura do revestimento em ouro é projetada para concentrar esse calor em uma área específica. Assim, é possível alcançar as temperaturas desejadas mais rapidamente. Além disso, isso cria um gradiente térmico mais preciso. Se você estiver trabalhando com uma superfície de 300 mm, essa é a única maneira de garantir que o processamento seja uniforme em toda a área.
A desvantagem (e como lidar com ela)
Concentrar tanta energia traz consigo alguns problemas. Como estamos direcionando tanto calor para o wafer, o próprio corpo da ferramenta pode ser danificado se o fluxo de ar não for adequado. É necessário garantir que as ventoinhas de resfriamento e os dissipadores de calor funcionem corretamente. Se o corpo da ferramenta ficar muito quente, ele pode se deformar. Quando a geometria muda, o ponto focal também muda, e então surgem pontos frios no wafer. Isso não é ideal.
A boa notícia é que esses sistemas são projetados para substituir os arrays infravermelhos convencionais. Basta conectá-los ao controlador existente. Você notará que a ferramenta atinge a temperatura desejada muito mais rapidamente, pois você parou de lutar contra as leis da física.