만약 클래스 100(ISO 5) 수준의 공장을 운영하고 있다면, 입자 오염이라는 문제를 잘 알고 있을 것입니다. 저가형 히팅 요소에서 나오는 아주 작은 조각들만으로도 웨이퍼가 파괴될 수 있습니다. 이는 정말 큰 재앙입니다.
그래서 우리는 적외선 램프에 고순도 합성 석영을 사용합니다.
먼지와의 싸움 융합된 규소의 장점은 극심한 온도 변화에도 견딜 수 있다는 점입니다. 금속으로 된 히터는 시간이 지나면서 벗겨지거나 부식되지만, 이러한 석영 관들은 그런 문제가 전혀 없습니다.
이 석영 관들은 짧은 파장의 적외선을 목표물에 직접 방출합니다. 열이 필요한 곳에만 가기 때문에 주변의 공기가 과열되는 일이 없습니다. 이를 통해 공기 흐름을 안정적으로 유지할 수 있으며, 클린룸 내부에 먼지가 날아다니는 것도 막을 수 있습니다.
적절한 하드웨어 선택 우리는 이 램프들이 혹독한 환경에서도 견딜 수 있도록 설계합니다. 대형 공장을 업그레이드할 때는 최대 온도에 도달했을 때 램프가 손상되지 않도록 해야 합니다. 그래서 직경과 길이의 허용 오차를 매우 줄여서, 기존의 설비에 쉽게 장착될 수 있도록 합니다. 별다른 문제가 없습니다.
또한 밀폐성도 중요합니다. 할로겐 가스가 새는 것은 치명적인 문제입니다. 그렇게 되면 램프뿐만 아니라 전체 생산 라인도 망가집니다. 그래서 모든 밀폐 부분을 진공 상태에서 테스트하여 제대로 밀폐되는지 확인합니다.
주의해야 할 점들 고순도 석영은 상당한 열을 발생시킵니다. 주의할 점은, 이로 인해 전원 공급 장치에 큰 부담이 가해진다는 것입니다. 따라서 정밀한 PID 컨트롤러가 필요합니다.
전압이 요동치면 필라멘트가 손상될 수 있습니다. 컨트롤러가 초기 시작 시의 전류 급증을 잘 처리할 수 있도록 해야 합니다. 그렇지 않으면 램프를 자주 교체해야 할 것입니다.
편의를 위해 우리는 표준 커넥터를 사용합니다. 이를 통해 배선이 빨라지고, 그 결과 공장이 다운타임을 줄이고 더 많은 시간을 생산에 투자할 수 있습니다. 필요한 열을 얻을 수 있으며, 생산 성능도 원하는 수준을 유지할 수 있습니다.