왜 에너지 낭비를 막기 위해 금 도금된 하우징을 사용하는가?
반도체 웨이퍼를 가공할 때는 모든 와트가 중요합니다. 만약 하우징의 벽면이 열을 반사하지 못하고 흡수한다면, 그것은 곧 돈의 낭비이자 열 균일성에 문제가 생길 수 있습니다.
그래서 우리는 금 도금된 스테인리스 스틸을 사용합니다. 이는 성가신 문제를 간단하게 해결해주는 방법입니다. 즉, 웨이퍼에 닿는 적외선 에너지를 최대한 활용하고, 벽면이 그 에너지를 흡수하지 않도록 하는 것입니다.
금의 마법
광택 처리된 스테인리스 스틸도 나쁘지는 않습니다. 일부 열을 반사할 수 있죠. 하지만 고강도 적외선 램프의 짧은 파장을 다룰 때는 그 정도로는 충분하지 않습니다.
금은 다릅니다. 금은 적외선 에너지의 98% 이상을 반사합니다. 히터 하우징의 내부에 얇은 금 코팅을 입힘으로써, 전체를 고효율의 열 반사 거울로 만들 수 있습니다. 그렇게 되면 하우징이 에너지를 흡수하여 뜨거워지는 대신, 에너지가 원하는 곳에 집중됩니다.
제작 과정
우리는 먼저 스테인리스 스틸을 사용합니다. 이 재료는 튼튼하고 무게를 잘 견디며, 고온에서도 부서지지 않습니다. 그런 다음, 빔을 더욱 집중시키기 위해 특별한 형태로 가공합니다.
결과적으로 웨이퍼의 온도가 더 빨리 상승합니다. 이는 생산 속도를 크게 향상시켜 줍니다.
하지만 한 가지 문제가 있습니다. 금은 조금 까다롭습니다. 만약 가공 과정에서 부식성 가스가 사용되거나 오염이 발생하면, 금 코팅이 마모되기 시작합니다. 그러면 반사율이 낮아지고 효율도 떨어집니다. 따라서 금 표면을 항상 깨끗하게 유지하기 위해서는 적절한 보호 조치가 필요합니다.
설치 방법
설치 과정은 까다로울 수 있습니다. 정확성이 매우 중요합니다.
램프가 단 몇 밀리미터만 비뚤어져도 초점이 바뀝니다. 그러면 웨이퍼에 과열된 부분이 생기고, 생산 효율도 저하됩니다.
우리는 이 제품들을 기존의 열 관리 모듈을 대체할 수 있도록 설계했습니다. 하지만 먼저 전력 공급 장치가 최대 부하를 감당할 수 있는지 확인해야 합니다. 마지막으로, 냉각 팬도 반드시 점검해야 합니다. 항상 일부 열이 잘못된 방향으로 퍼질 수 있으므로, 그러한 에너지가 센서를 손상시키는 것을 막아야 합니다.