깨끗한 환경을 유지하여 생산성을 높이세요.
만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 입자가 발생하는 문제가 얼마나 심각한지 잘 알고 있을 것입니다. 저렴한 히팅 요소에서 나오는 작은 조각들만으로도 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. 이는 매우 성가신 문제이며, 비용도 많이 듭니다. 게다가 생산성도 떨어집니다.
그래서 우리는 일반적인 히터 대신 고순도의 융합 석영을 사용하기로 결정했습니다.
왜 석영일까요?
금속으로 만들어진 히터는 결국 벗겨지거나 산화됩니다. 하지만 합성된 융합 석영은 달랐습니다. 환경과 반응하지 않으며, 금속 이온도 방출되지 않습니다. 게다가 열에 매우 강합니다. 온도 변화에도 거의 팽창하거나 수축하지 않아, 급격한 온도 변화로 인해 튜브가 깨지는 것을 걱정할 필요가 없습니다.
열을 원하는 곳에 전달하기
이러한 램프는 단파 적외선을 사용합니다. 좋은 점은 에너지가 직접 기판에 도달한다는 것입니다. 방 안의 공기를 먼저 가열할 필요가 없어서 시간을 절약할 수 있습니다. 정말 빠릅니다.
전력에 대한 주의사항
이러한 램프는 많은 와트수를 처리할 수 있지만, 전원 공급 장치도 그에 맞게 설정해야 합니다. 너무 많은 와트를 짧은 튜브에 공급하면 필라멘트가 손상될 수 있습니다. 안전을 위해, 우리는 항상 전압 조절기에 약 10%의 여유를 남겨둡니다. 이렇게 하면 갑작스러운 전력 변동으로 인한 문제를 피할 수 있습니다.
설치 시 주의사항
우리는 표준 커넥터를 사용하기 때문에, 유지보수 시에도 쉽게 교체할 수 있습니다. 램프를 교체하기 위해 기계의 절반을 다시 조립할 필요는 없습니다.
하지만 석영은 매우 연약합니다. 설치할 때는 브래킷이 튜브를 짓누르지 않도록 주의해야 합니다. 너무 큰 압력이 가해지면 튜브가 처음 가열될 때 바로 깨질 수 있습니다. 그런 소리는 듣고 싶지 않을 것입니다.
마지막으로, 손으로 만질 때도 주의해야 합니다. 고순도 석영은 일반 유리보다 비싸고, 매우 섬세합니다. 튜브에 단 한 번의 지문이라도 남으면 과열되어 손상될 수 있습니다. 연결하기 전에 IPA로 튜브를 빠르게 닦아주면 됩니다.