यूएचपी इन्फ्रारेड तकनीक – पृथ्वी एवं आपकी उत्पादन प्रक्रिया के लिए लाभदायक
सेमीकंडक्टर निर्माण में “स्वच्छता” केवल एक लक्ष्य ही नहीं, बल्कि सब कुछ है। यदि वेफरों पर कोई अशुद्धि है, तो यह एक बड़ी समस्या है।
लंबे समय तक हमने ऐसे बड़े ओवनों का ही उपयोग किया। लेकिन ईमानदारी से कहें तो, ऐसे ओवन बहुत बड़े होते हैं, बहुत ऊर्जा खपत करते हैं, एवं इनमें रासायनिक घोलों का उपयोग होता है… जिसे आजकल कोई भी अपने संयंत्रों में इस्तेमाल नहीं करना चाहता। इसीलिए हमने यूएचपी (अत्यधिक शुद्धता वाली) इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग शुरू किया। यह एक बेहतर विकल्प है… यह कार्बन उत्सर्जन को कम करता है, एवं “शीर्ष-रहित” उत्पादन प्रक्रियाओं को पूरा करने में भी मदद करता है।
विकिरण ऊष्मा का जादू
फोर्स्ड-एयर सिस्टमों में तो उत्पाद के चारों ओर की हवा को गर्म करने में ही बहुत ऊर्जा खर्च होती है। लेकिन यूएचपी लैंपों में ऐसी समस्या ही नहीं है… ये विद्युत-चुम्बकीय तरंगों का उपयोग करके ऊष्मा को सीधे सब्सट्रेट में पहुँचाते हैं।
हम इन लैंपों में उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज सामग्री का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि हम नहीं चाहते कि धात्विक आयन या कोई अन्य अशुद्धियाँ वेफरों पर पहुँचें। यही तरीका है जिससे हम अपने स्वच्छता मानकों को बनाए रख सकते हैं, एवं उच्च मात्रा में उत्पादन भी कर सकते हैं।
गति, ऊर्जा… एवं सावधानी
हम इन लैंपों को उच्च वॉट-प्रति-सेंटीमीटर मानकों के अनुसार ही डिज़ाइन करते हैं… क्योंकि गति ही यहाँ सबसे महत्वपूर्ण है। ऐसे में कुल्लाहट की प्रक्रिया मिनटों से कम होकर सेकंडों में ही पूरी हो जाती है।
लेकिन एक सावधानी भी आवश्यक है… आपको लैंप के ठंडा होने की प्रक्रिया पर ध्यान देना होगा… यदि हवा का प्रवाह लैंप के आउटपुट के अनुरूप न हो, तो लैंप के अंतिम हिस्से गर्म हो जाएँगे, एवं फिलामेंट जल जाएंगे। यह एक शक्तिशाली उपकरण है… लेकिन इसका सही तरीके से ही उपयोग करना आवश्यक है।
पृथ्वी एवं उत्पादन प्रक्रिया दोनों के लिए लाभदायक
“शीर्ष-रहित” उत्पादन प्रक्रियाओं हेतु उच्च तापमान एवं सटीक समय-निर्धारण आवश्यक है… ऐसे में इन्फ्रारेड तकनीक ही सबसे अच्छा विकल्प है। आप तरंगदैर्घ्य को ऐसे ही समायोजित कर सकते हैं, जैसा कि आपके फोटोरेजिस्ट/चिपकने वाले पदार्थों को आवश्यक है।
आप मशीन के चेसिस या कमरे में मौजूद हवा पर ऊर्जा बर्बाद नहीं कर रहे हैं… आप सीधे ही लक्ष्य तक पहुँच रहे हैं।
इसके अलावा, ये लैंप उन बड़े ओवनों का बेहतर विकल्प हैं… ये बहुत कम जगह लेते हैं, एवं तुरंत ही काम करना शुरू कर देते हैं… अब बड़े ओवनों के पहले गर्म होने का इंतज़ार नहीं करना पड़ता। VOC-युक्त रासायनिक घोलों के उपयोग से बचकर, आप अपने संयंत्र को पर्यावरणीय मानकों के अनुरूप बना सकते हैं… एवं उत्पादन दर भी बनाए रख सकते हैं। यह तो उत्पादन हेतु एक बेहतरीन तरीका ही है।