अपने क्लीन रूम ट्रॉली हीटरों को एक जगह पर ही रखना आवश्यक है
जब आप सेमीकंडक्टर फैक्ट्री में काम कर रहे होते हैं, तो ट्रॉली हीटर का काम केवल वेफर्स को गर्म रखना ही नहीं होता। वास्तव में, इसका उद्देश्य यह सुनिश्चित करना है कि स्टराइल रूम में कोई विद्युत संबंधी समस्या न हो। हम ऐसे उपकरणों को विशिष्ट तापमान पर चलाने हेतु ही बनाते हैं… लेकिन वास्तव में जो चीज आपको रात में आराम से सोने में मदद करती है, वह है उपकरणों की विद्युत अखंडता।
हम हर उपकरण का परीक्षण क्यों करते हैं?
हम यहाँ “बैच सैंपलिंग” नहीं करते… क्योंकि यह बहुत ही जोखिम भरा है। इसके बजाय, हम जो भी हीटिंग उपकरण बनाते हैं, उसका वोल्टेज सहन करने की क्षमता एवं इन्सुलेशन प्रतिरोध का परीक्षण किया जाता है… ताकि वह उपकरण हमारी फैक्ट्री से बाहर जाने से पहले ही ठीक हो जाए।
हम उच्च-वोल्टेज का उपयोग करके उपकरणों की इन्सुलेशन क्षमता की जाँच करते हैं।
ऐसा क्यों करना पड़ता है? क्योंकि यदि क्लीन रूम में कोई हीटर खराब हो जाता है, तो आपको केवल खराब भाग को ही बदलना ही नहीं पड़ता… बल्कि ऐसी स्थिति में संवेदनशील वेफर्स नष्ट हो सकते हैं, या ESD जैसी समस्याएँ भी हो सकती हैं। कोटिंग में छोटा सा छेद या सिरेमिक में छोटी सी दरार ही बड़ी समस्या पैदा कर सकती है… हम हर उपकरण का परीक्षण करते हैं, ताकि आपको चिंता करने की आवश्यकता ही न पड़े।
सुरक्षा हेतु आवश्यक उपाय
धारा के लीक होने से बचने हेतु, हम उच्च-गुणवत्ता वाली डाइइलेक्ट्रिक सामग्रियों का उपयोग करते हैं… ताकि हीटिंग उपकरण ट्रॉली के चेसिस से अलग रह सके। यह बहुत ही महत्वपूर्ण है… क्योंकि क्लीन रूम में स्टैटिक चार्ज जमने से बचने हेतु सख्त नियम होते हैं।
लेकिन वास्तव में, ज्यादातर खराबीयाँ उपकरण के अंदर ही नहीं, बल्कि कनेक्शन बिंदुओं पर ही होती हैं। ट्रॉली हिलती रहती है… इससे इन्सुलेशन क्षतिग्रस्त हो सकता है, या तार ढीले हो सकते हैं। इसे रोकने हेतु हम मजबूत टर्मिनलों का उपयोग करते हैं… यह एक सरल समाधान है… लेकिन यही वह उपाय है जिससे उपकरण सही तरह से काम करता है।
आपको जानने आवश्यक बातें
अब, एक समस्या भी है… उच्च इन्सुलेशन प्रतिरोध आवश्यक है… लेकिन इसका एक मूल्य भी है। मोटी डाइइलेक्ट्रिक कोटिंगें उपकरण को सुरक्षित रखती हैं… लेकिन इससे हीटर के गर्म होने में समय लगता है। आपको थोड़ी ऊष्मा-प्रतिक्रिया का त्याग करना ही पड़ता है… ताकि आपको पूरी तरह आराम मिल सके।
एक सलाह: आपको अपने PID कंट्रोलरों को समायोजित करना ही होगा… ताकि ऊष्मा-प्रतिक्रिया में कोई समस्या न हो। ऐसा न करने पर, तापमान लक्ष्य से अधिक हो सकता है… लेकिन एक बार समायोजन हो जाने के बाद, सब कुछ ठीक हो जाता है।