आपके फैब लैंपों में क्वार्ट्ज शील्ड क्यों आवश्यक हैं?
उच्च-लोड वाले सेमीकंडक्टर फैबों में, लैंप के खराब होना कोई मामूली समस्या नहीं है… यह तो एक भयावह स्थिति है।
जब इन्फ्रारेड लैंप अत्यधिक गर्मी के कारण खराब हो जाता है, तो उसका काँच का आवरण टूट जाता है… और उसके टुकड़े वेफरों पर गिर जाते हैं। ऐसी स्थिति में, पूरा उत्पादन बर्बाद हो जाता है।
यह तो एक महंगी गलती है… लेकिन इसे आसानी से टाला जा सकता है।
फ्यूज्ड क्वार्ट्ज का जादू
हम इन शील्डों के लिए उच्च-शुद्धता वाला फ्यूज्ड क्वार्ट्ज ही इस्तेमाल करते हैं… क्योंकि यह अत्यधिक गर्मी को सह सकता है।
जब तापमान में अचानक बदलाव होता है, तो क्वार्ट्ज में कोई दरार नहीं पड़ती… यह एक तरह की “भौतिक सुरक्षा परत” का काम करता है। यदि लैंप का अंदरूनी भाग खराब हो जाता है, तो शील्ड उसके टुकड़ों को रोक लेता है। बेशक, आपको फिर से लैंप लगाना ही होगा… लेकिन आपके वेफर साफ ही रहेंगे।
संतुलन बनाए रखना
ऐसे शील्डों को डिज़ाइन करना कोई आसान काम नहीं है… यह तो एक संतुलन बनाने का काम है।
हम चाहते हैं कि इन्फ्रारेड किरणें वेफरों तक जितनी हो सके, उतनी शक्ति के साथ पहुँचें… इसलिए हम क्वार्ट्ज को उच्च-शुद्धता एवं पारदर्शी ही रखते हैं। लेकिन शील्ड लगाने से थोड़ा परावर्तन होता है… और गर्मी वहीं फंस जाती है।
यहाँ तो एक बात ध्यान रखने योग्य है… हवा का प्रवाह ठीक होना आवश्यक है। यदि हवा लैंप एवं शील्ड के बीच ठीक से न बहे, तो लैंप के अंतिम हिस्से अत्यधिक गर्म हो जाते हैं… और इससे फिलामेंट जल्दी ही खराब हो जाते हैं।
चीजों को सुचारू रखना
हमने ऐसे शील्डों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है… ताकि उन्हें आसानी से लगाया जा सके। इनकी सटीकता बहुत ही अधिक है… इसलिए वेफरों तक गर्मी समान रूप से ही पहुँचती है।
जब आप किसी खराब हुए लैंप को बदलते हैं, तो क्वार्ट्ज को अवश्य देखें… उसकी सतह पर कोई धब्बे या दरारें तो नहीं हैं?
जब क्वार्ट्ज खराब होने लगता है, तो वह कमज़ोर हो जाता है… इसलिए बेहतर है कि हर कुछ लैंप-चक्रों के बाद ही शील्ड को बदल दिया जाए… ताकि उत्पादन प्रक्रिया में कोई समस्या न हो।