आईआर क्यूरिंग तकनीक से फैब्रिकेशन प्रक्रिया में कार्बन उत्सर्जन कम करना
ईमानदारी से कहें तो, सेमीकंडक्टर फैब्रिकेशन सुविधाओं पर नेट-जीरो लक्ष्य हासिल करने हेतु बहुत दबाव है। लेकिन जब हम देखते हैं कि ऊर्जा आखिर कहाँ खर्च हो रही है, तो पता चलता है कि इसका अधिकांश हिस्सा क्यूरिंग एवं बेकिंग प्रक्रियाओं में ही खर्च हो रहा है।
पारंपरिक कन्वेक्शन ओवन, वास्तव में ऊर्जा के अपव्यय का कारण हैं। ऐसे ओवन, बिना किसी उद्देश्य के ही बहुत सारी ऊर्जा बर्बाद करते हैं… ऐसी ऊर्जा तो उस उत्पाद तक ही नहीं पहुँचती, जिसे गर्म किया जा रहा है।
प्रमाणित इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करने से यह समस्या दूर हो जाती है। ऐसे लैंप, पूरे कमरे को गर्म करने के बजाय सीधे वेफर को ही गर्म करते हैं… यह तो बहुत ही कुशल तरीका है।
ओवन के गर्म होने का इंतज़ार मत करें।
इन्फ्रारेड लैंपों का सबसे अच्छा पहलू यह है कि ये “तुरंत ही काम करने लगते हैं”। आपको तो बस स्विच चालू करना ही है… फिर आप तुरंत ही काम शुरू कर सकते हैं।
प्री-हीटिंग प्रक्रिया को छोड़ने से, हर वेफर के लिए आवश्यक ऊर्जा में काफी कमी आ जाती है। जब आप बड़े पैमाने पर उत्पादन कर रहे होते हैं, तो ऐसी बचतें बहुत ही महत्वपूर्ण हो जाती हैं… यह तो कार्बन उत्सर्जन को कम करने का एक आसान तरीका है।
विस्तार से…
फोटोरेजिस्ट या चिपकने वाले पदार्थों को गर्म करने हेतु हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं।
और चूँकि क्लीनरूम में किसी भी प्रकार के प्रदूषण की अनुमति नहीं है, इसलिए हम उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज से बने कवरों का उपयोग करते हैं… ऐसा करने से गैसों का निकास रोका जा सकता है। आप अपनी आवश्यकताओं के अनुसार वॉटेज चुन सकते हैं।
ध्यान रखें…
उच्च-घनत्व वाले लैंपों से बहुत अधिक ऊर्जा उत्पन्न होती है… इसलिए आपको अपनी कूलिंग प्रणाली को ठीक रखना ही होगा। यदि हवा का प्रवाह कम हो, तो लैंप जल्दी ही खराब हो जाएगा।
इन लैंपों का उपयोग…
अच्छी बात यह है कि ये लैंप, पुराने हीटिंग तत्वों का विकल्प हैं… इनका वायरिंग भी बहुत ही सरल है। बस यह सुनिश्चित करें कि आपका वोल्टेज, मौजूदा पावर सिस्टम के अनुरूप हो… वरना लैंप जल्दी ही खराब हो जाएगा।
जब कोई लैंप खराब हो जाता है, तो उसे बदलने में कुछ ही मिनट लगते हैं… यह तो बड़े औद्योगिक ओवनों की मरम्मत की तुलना में बहुत ही आसान है। आप तो एक भारी, ऊर्जा-खपत वाले सिस्टम की जगह एक छोटा, कुशल सिस्टम ही उपयोग में ला रहे हैं।