در خط تولید ۳۰۰ میلیمتری، ما از قابلیتهای حرارتی دستگاه به حداکثر استفاده را میکنیم. حتی اختلاف نیم درجهای در دمای فرآیند، میتواند باعث تغییراتی در پروفایل فوتورزیست شود؛ همچنین، عدم یکنواختی در دمای فرآیند، منجر به وجود لایههای اضافی در لبههای ویفر میشود. چنین اختلافاتی نه تنها سرعت فرآیند را کاهش میدهند، بلکه باعث ایجاد ضایعات نیز میشوند. ما از لامپهای یدکی ASML برای کاهش این نوسانات استفاده میکنیم.
نکات فنی مهم:
ما رفتار حرارتی پلتفرم ASML را با خروجیهای موج کوتاه و متوسط سازگار میکنیم تا فرآیند فوتورزیست به درستی انجام شود. در سطح ویفر، یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ همچنین، تکرارپذیری فرآیند نیز در محدوده ±۰.۲ درجه سانتیگراد از یک چرخه به چرخه دیگر باقی میماند. این لامپها در اتاقهای پاکیزه کلاس ۱–۱۰۰ کار میکنند و هیچ ذرهای ایجاد نمیکنند؛ این موضوع نیز به صورت مستقیم بررسی شده است. این لامپها برای کار ۲۴ ساعته طراحی شدهاند؛ حداقل ۵٬۰۰۰ ساعت کار بدون افزایش بیش از ۵ درصد در خروجی. همچنین، از آنجایی که ولتاژها و اتصالات این لامپها با رابطهای دستگاه ASML سازگار هستند، میتوان آنها را بدون نیاز به تنظیمات مجدد، جایگزین کرد.
دلایل موفقیت این روش:
این روش باعث میشود فرآیند تولید به طور پیوسته ادامه یابد. با استفاده از این لامپهای یدکی، دمای فرآیند کنترل میشود؛ در نتیجه، کنترل ابعاد مهم ویفر بهتر میشود و حذف لایههای اضافی در لبههای ویفر نیز قابل پیشبینی میشود. یکنواختی حرارتی بهتر، منجر به کاهش کارهای تکراری و ضایعات میشود؛ همچنین، باعث میشود دستگاه سریعتر به حالت پایدار برگردد. همچنین، مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا لامپ به سرعت به دمای مورد نظر میرسد و آن را با اختلاف بسیار کمی حفظ میکند. این روش، بدون نیاز به تغییر در روشهای فرآیندی، باعث کاهش هزینههای انرژی میشود.
نکات عملی:
نصب این لامپها ساده است؛ اما باید آنها را تمیز نگه داشت و از تماس آنها با ذرات الکتریکی جلوگیری کرد. وجود اثر انگشت روی پوشش کوارتز، میتواند باعث ایجاد نقاط گرم شود. قبل از استفاده، فرمورم دستگاه را بررسی کنید؛ برخی از کنترلرهای قدیمی نیاز به تنظیمات خاصی برای سازگاری با منحنی دمایی لامپ جدید دارند. پس از تنظیمات لازم، یک سری آزمایشهای کوتاه انجام دهید تا از صحت دمای فرآیند مطمئن شوید؛ سپس این لامپهای یدکی را در برنامه نگهداری دستگاه خود قرار دهید.