در کارخانههای تولید، تغییر ۰.۱ درجه سانتیگراد در دمای پخت، باعث تغییراتی در پروفیل فتورزیست میشود؛ این تغییرات در صورتحسابهای مربوط به بازدهی تولید نیز مشهود خواهد بود. در فرآیندهای لیتوگرافی، موضوع حرارت بسیار مهم است؛ زیرا این موضوع یک شرط ضروری برای انجام صحیح فرآیند است. ما لامپهای کوارتزی حاوی رشتههای تنگستنی را طوری طراحی کردهایم که این شرایط را رعایت کنند؛ در نتیجه، گرمای مورد نیاز برای انجام فرآیند، به طور دقیق تأمین میشود.
انرژی مادون قرمز با طول موج کوتاه، از رشتههای تنگستنی موجود در کوارتز با خلوص بالا تأمین میشود؛ این امر منجر به گرمایش سریع و کنترل دقیق طیف انرژی میشود. در ناحیههای داغ، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ همچنین، دمای مورد نیاز نیز با سرعت بسیار بالایی تنظیم میشود. این لامپها برای استفاده در اتاقهای پاکسازی با استانداردهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ طراحی شدهاند؛ مواد مورد استفاده نیز به گونهای انتخاب شدهاند که ایجاد ذرات و آلودگی از بین برود. این لامپها میتوانند ۲۴ ساعته کار کنند؛ ما شاهد عملکرد این لامپها برای بیش از ۵۰۰۰ ساعت بودهایم، و کاهش بازدهی کمتر از ۵٪ رخ داده است.
در ایستگاه پخت، کنترل دقیق دما بسیار مهم است؛ دمای کم باعث میشود رزین فتورزیست ماده حلکننده را در خود نگه دارد، در حالی که دمای بالا باعث فشرده شدن پروفیل فتورزیست میشود. لامپهای ما دمای مورد نیاز را ثابت نگه میدارند؛ در نتیجه، کنترل ابعاد کلیدی و زوایای دیوارهها نیز در هر چرخه تولید، در حد مورد نظر باقی میماند.
نتیجه این کار، تولید محصولات با کیفیت بالا، کاهش مواد بازیافتی و کمتر شدن نیاز به تولید مجدد محصولات است. همچنین، انتقال انرژی به صورت تابشی و کارآمد انجام میشود؛ بنابراین، عمر لامپها نیز افزایش مییابد و زمان تعویض آنها کاهش مییابد.
نصب این لامپها ساده است، اما باید مراقب بود؛ لامپ باید با الگوی بازتابنده و تنظیمات PID کنترلکننده حرارت سازگار باشد تا از ایجاد نقاط داغ جلوگیری شود. همچنین، باید ولتاژ و سازگاری کابلها با فرآیند تولید بررسی شود؛ همچنین، مسیر خروجی گازها نیز باید تمیز و خشک باشد.
باید با کوارتز مانند یک محفظه فرآیندی رفتار کرد؛ از دستکش استفاده کرد، از لکههای انگشت جلوگیری کرد، و پروفیل پخت را با استفاده از ویفرهای تنظیمشده بررسی کرد، قبل از اینکه محصولات را تولید کنیم.