قطعه یدکی لامپ لیتوگرافی ASML
در خط تولید ۳۰۰ میلیمتری، ما از قابلیتهای حرارتی دستگاه به حداکثر استفاده را میکنیم. حتی اختلاف نیم درجهای در دمای فرآیند، میتواند باعث تغییراتی...
قطعات یدکی فرآوری ویفر آنلاین
در خطوط تولید با طول ۳۰۰ میلیمتر، نمیتوان اجازه داد که در فرآیند گرم کردن رزیستورها، اختلافاتی رخ دهد؛ همچنین نباید در حین خشک کردن ویفرها، تعداد...