Hören Sie auf, Ihre Energie verschwenden zu müssen – für Überflüssigkeiten in den Werkzeugen zur Verarbeitung von Siliziumwafern.
Wenn Sie Siliziumwafern erhitzen, bedeutet jedes verschwendete Watt, dass Geld einfach verloren geht.
Das Problem ist folgendes: herkömmliche Infrarotlampen strahlen ihre Energie überall hin. Doch bei der Verarbeitung von Wafern ist nur das wichtig, was auf die Oberfläche des Substrats trifft. Alles andere ist irrelevant. Wir lösen dieses Problem mit einer Goldbeschichtung. Anstatt dass die Energie ins Gehäuse des Werkzeugs abfließt, leiten wir sie direkt zurück auf die Wafer-Oberfläche.
Warum Gold?
Weil Gold hervorragend in der Reflexion von Infrarotwellen ist. Die meisten Menschen verwenden Aluminiumreflektoren – doch diese nehmen bei hoher Temperatur zu viel Wärme auf. Gold hingegen reflektiert die Photonen nahezu ohne Verluste. Das bedeutet, dass jeder einzelne Watt, den Sie aus der Stromversorgung beziehen, tatsächlich seine Wirkung entfaltet – nämlich die Oberflächentemperatur der Wafer zu erhöhen.
Es geht um die Fokussierung
Wir lenken das Licht nicht einfach nur ziellos umher – wir fokussieren es gezielt. Die Kurve des mit Gold beschichteten Gehäuses sorgt dafür, dass die Wärme auf einen sehr bestimmten Punkt konzentriert wird. So kann man die gewünschten Temperaturen schneller erreichen. Zudem entsteht ein viel präziserer Temperaturgradient. Wenn Sie mit einer 300-mm-Fläche arbeiten, ist das die einzige Möglichkeit, sicherzustellen, dass die Verarbeitung gleichmäßig erfolgt.
Die Nachteile – und wie man damit umgeht
Die Konzentration solcher Mengen an Energie hat natürlich auch ihre Nachteile. Da wir so viel Wärme auf die Wafer übertragen, kann das Gehäuse Schaden nehmen, wenn die Belüftung nicht ausreicht. Sie müssen sicherstellen, dass Ihre Kühlfans und Kühler geeignet sind. Wenn das Gehäuse zu heiß wird, kann es sich verformen. Dadurch verschiebt sich der Fokuspunkt – und plötzlich haben Sie kühle Stellen auf der Wafer-Oberfläche. Das ist natürlich nicht ideal.
Die gute Nachricht: Diese Systeme sind als Ersatz für herkömmliche Infrarotanlagen konzipiert. Man muss sie einfach mit dem vorhandenen Controller verbinden. Sie werden feststellen, dass das Werkzeug viel schneller seine Zieltemperatur erreicht – schließlich müssen Sie nicht mehr gegen die Gesetze der Physik ankämpfen.